[发明专利]自动检测测试通道的校验图形结构及测试方法

权利要求书

1.一种自动检测测试通道的校验图形结构，其特征在于：在晶圆上划分一个独立的结构区域，所述校验图形结构包含有多个PAD，所述的多个PAD等距排列，各个PAD之间采用电阻结构进行连接。

2.如权利要求1所述的自动检测测试通道的结构，其特征在于：所述的电阻结构为由多晶硅导线形成的电阻。

3.如权利要求1所述的自动检测测试通道的结构，其特征在于：所述的校验图形结构是放置于晶圆上的划片槽内，所述的PAD的排布不仅限于直线排列，只要与原有的测试图形结构的测试点或者探针卡相匹配即可。

4.如权利要求1所述的自动检测测试通道的结构，其特征在于：所述的校验图形结构中PAD的个数由相关的工艺决定，PAD之间等距排列，且PAD之间的电阻结构的参数保持一致。

5.一种自动检测测试通道的方法，其特征在于：在工艺监控系统测试结构中增加一条电阻校验图形，所述电阻校验图形包含有多个PAD，PAD之间采用电阻结构连接；

在测试机台的测试程序中增加所述电阻校验图形的测试项目并优先测试，进行规格管控；

当测试通道发生异常时，针对电阻校验图形的测试相关项目连续测试失败，则触发测试机台自动暂停，测试系统根据失效位置判定可疑通道，记录测试结果并启动相关的缺陷诊断程序；

操作员根据诊断结果判定下一步的处理方式。

6.如权利要求5所述的自动检测测试通道的测试方法，其特征在于：所述电阻校验图形的测试项目为方块电阻测试。

7.如权利要求5所述的自动检测测试通道的测试方法，其特征在于：所述的测试系统根据电阻校验图形中的失效电阻位置来判定哪些通道可能存在问题，划为可疑通道。

8.如权利要求5所述的自动检测测试通道的测试方法，其特征在于：所述的测试通道发生异常，是指当前测试的通道的方块电阻明显异于其他通道的值，或者是未测到方块电阻值。

9.如权利要求5所述的自动检测测试通道的测试方法，其特征在于：操作员根据诊断结果决定选择继续测试或者是中断测试；若中断测试，则将已测数据进行上传，将数据存储到文件。