[发明专利]IC料条的双面检测设备及方法在审
申请号: | 202110726535.7 | 申请日: | 2021-06-29 |
公开(公告)号: | CN113447491A | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 林宜龙;吴海裕;黄理声;张勇 | 申请(专利权)人: | 深圳格芯集成电路装备有限公司 |
主分类号: | G01N21/89 | 分类号: | G01N21/89 |
代理公司: | 深圳市特讯知识产权代理事务所(普通合伙) 44653 | 代理人: | 孟智广 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | ic 双面 检测 设备 方法 | ||
1.一种IC料条的双面检测设备,其特征在于,所述IC料条的双面检测设备包括:
第一存储装置、IC料条传输装置、检测装置、第二存储装置;
所述第一存储装置用于存储未检测的IC料条,所述IC料条传输装置用于传动带出在所述第一存储装置中的所述IC料条;
所述检测装置包括:第一竖直动力组件、第二竖直动力组件、水平动力组件、第一相机滑动架、第二相机滑动架、第一测量组件、第二测量组件、第一支架、第二支架;
所述水平动力组件包括传动杆、水平动力电机、第一传输带、第二传输带;
所述第一相机滑动架包括第一滑动导轨和第一相机安装架,所述第二相机滑动架包括第二滑动导轨和第二相机安装架;
所述第一支架安装在所述第二支架上方,所述第一传输带安装在所述第一支架上,所述第二传输带安装在所述第二支架上,所述传动杆连接所述水平动力电机,所述第一传输带连接所述传动杆,所述第二传输带连接所述传动杆;
所述第一滑动导轨安装在所述第一支架上,所述第一相机安装架与所述第一传输带连接,所述第二滑动导轨安装在所述第二支架上,所述第二相机安装架与所述第二传输带连接;
所述第一竖直动力组件安装在所述第一相机安装架上,用于提供动力为所述第一相机安装架进行竖直运动,所述第一测量组件固定在所述第一相机安装架上,用于检测所述IC料条的表面;
所述第二竖直动力组件安装在所述第二相机安装架上,用于提供动力为所述第二相机安装架进行竖直运动,所述第二测量组件固定在所述第二相机安装架上,用于检测所述IC料条的表面。
2.根据权利要求1所述的IC料条的双面检测设备,其特征在于,所述第一竖直动力组件包括第一竖直动力电机、第一竖直传动带、第一竖直传动杆,所述第一竖直传动带一端连接所述第一竖直动力电机,另一端连接所述第一竖直传动杆,以便将所述第一竖直动力电机的动力传导至所述第一竖直传动杆。
3.根据权利要求2所述的IC料条的双面检测设备,其特征在于,所述第一测量组件安装在远离所述第一传输带的方向,并安装在所述第一竖直传动杆的所在直线上。
4.根据权利要求3所述的IC料条的双面检测设备,其特征在于,所述第一测量组件包括第一光源组件和第一测量相机,所述第一测量相机安装在靠近所述第一竖直传动杆的方向,所述第一光源组件安装在远离所述第一竖直传动杆的方向。
5.根据权利要求1-4任一项所述的IC料条的双面检测设备,其特征在于,所述第二竖直动力组件包括第二竖直动力电机、第二竖直传动带、第二竖直传动杆,所述第二竖直传动带一端连接所述第二竖直动力电机,另一端连接所述第二竖直传动杆,以便将所述第二竖直动力电机的动力传导至所述第二竖直传动杆。
6.根据权利要求5所述的IC料条的双面检测设备,其特征在于,所述第二测量组件安装在远离所述第二传输带的方向,并安装在所述第二竖直传动杆的所在直线上。
7.根据权利要求6所述的IC料条的双面检测设备,其特征在于,所述第二测量组件包括第二光源组件和第二测量相机,所述第二测量相机安装在靠近所述第二竖直传动杆的方向,所述第二光源组件安装在远离所述第二竖直传动杆的方向。
8.一种IC料条的双面检测方法,其特征在于,所述IC料条的双面检测方法应用于权利要求1-7中任一项所述的IC料条的双面检测设备,所述IC料条的双面检测方法包括:
所述IC料条传输装置用传动带出在所述第一存储装置中的所述IC料条;
所述水平动力电机旋转带动所述传动杆,所述水平动力电机带动所述传动杆转动,所述传动杆带动所述第一传输带和所述第二传输带以相同速度转动,用于同步调整所述第一相机滑动架和所述第二相机滑动架的位置,以便所述第一相机滑动架、所述第二相机滑动架、所述IC料条在同一平面;
所述第一竖直动力组件调整所述第一相机滑动架的竖直位置,使得所述第一相机滑动架上的所述第一测量组件对焦至所述IC料条的表面,所述第二竖直动力组件调整所述第二相机滑动架的竖直位置,使得所述第二相机滑动架上的所述第二测量组件对焦至所述IC料条的表面;
所述第一测量组件和所述第二测量组件检测所述IC料条后,所述IC料条传输装置将所述IC料条带动传输至所述第二存储装置,所述第二存储装置将所述IC料条进行存储。
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