[发明专利]一种用于多晶硅提纯的电磁加热炉有效

专利信息
申请号: 202110728901.2 申请日: 2021-06-29
公开(公告)号: CN113357913B 公开(公告)日: 2022-12-09
发明(设计)人: 曹明贵 申请(专利权)人: 吉利硅谷(谷城)科技有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;F27D11/06;C01B33/037
代理公司: 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 代理人: 吴甘棠
地址: 441700 湖北省襄阳*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 多晶 提纯 电磁 加热炉
【权利要求书】:

1.一种用于多晶硅提纯的电磁加热炉,包括外壳(1),其特征在于:所述外壳(1)内腔的底部固定安装有支撑柱(2),所述支撑柱(2)的顶部固定安装有圆形加热板(3),所述外壳(1)内腔底部且位于支撑柱(2)外侧的位置上固定安装有支撑座(4),所述支撑座(4)的顶部固定安装有支撑环(5),所述支撑环(5)的顶部放置有储液装置(6),所述储液装置(6)的内部活动套接有承载装置(7),所述外壳(1)内壁且位于承载装置(7)上方的位置上固定安装有双管型加热器(8),所述外壳(1)外表面且位于双管型加热器(8)上方的位置上固定安装有入料口(9),所述储液装置(6)的内部固定套接有姿态调整装置(10),所述承载装置(7)包括防漏板(71),所述防漏板(71)的外表面固定套接有固定式载料板(72),所述防漏板(71)的底部固定安装有限位环(73),所述防漏板(71)外表面且位于固定式载料板(72)和限位环(73)之间的位置上活动套接有复位型载料板(74),所述复位型载料板(74)与固定式载料板(72)之间呈交错式布置,所述固定式载料板(72)的外表面固定安装有外固定架(75),所述外固定架(75)的底部固定安装有复位塞(76)且复位塞(76)的数量为六个并以环形阵列的方式分布,所述姿态调整装置(10)包括调节环形板(101),所述调节环形板(101)的顶部开设有调节三角槽(102),所述调节三角槽(102)的外形呈三角且顶部的宽度大于底部的宽度,所述调节三角槽(102)与固定式载料板(72)和复位型载料板(74)相对应。

2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅提纯的电磁加热炉,其特征在于:所述储液装置(6)包括斜面储液槽(61),所述斜面储液槽(61)的内壁设置为斜面,所述斜面储液槽(61)的顶部固定安装有行程套筒(62),所述行程套筒(62)的内壁上开设有行程槽(63)且行程槽(63)的内部活动套接有承载装置(7),所述行程槽(63)的顶部固定安装有触发开关(64),所述触发开关(64)的输出端通过信号连接的方式与双管型加热器(8)的输入端相连接,所述行程槽(63)的底部且位于斜面储液槽(61)外侧的位置上固定安装有复位管(65),所述复位塞(76)活动套接在复位管(65)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅提纯的电磁加热炉,其特征在于:所述双管型加热器(8)由两层环形电磁加热板构成,所述双管型加热器(8)外侧位于行程套筒(62)的外侧且双管型加热器(8)内侧位于防漏板(71)的内侧。

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