[发明专利]一种用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构在审
| 申请号： | 202110730269.5 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113663995A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;霍召军;周志勇 | 申请（专利权）人： | 无锡亚电智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;B08B9/28;B08B9/30;B08B13/00;B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 晶圆盒 变形 夹持 机构 | ||
1.一种用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，其特征在于，包括夹持架(21)、夹持臂(22)、夹持气缸(23)、吸附碗(24)、真空发生器(25)，所述夹持架(21)安装在所述支撑架(12)下端，所述夹持臂(22)安装在所述夹持架(21)下端，所述夹持气缸(23)固定部安装在所述夹持架(21)顶部中间位置，所述夹持气缸(23)用于驱动所述夹持臂(22)伸展或收缩以使两个所述吸附碗(24)从相对的状态到朝下的状态之间变换，所述吸附碗(24)安装在所述夹持臂(22)下端，所述真空发生器(25)用于使所述吸附碗(24)内产生负压。
2.根据权利要求1所述的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，其特征在于，所述夹持架(21)与所述支撑架(12)通过螺栓连接，所述夹持臂(22)与所述夹持架(21)转动连接，所述夹持气缸(23)固定部与所述夹持架(21)通过螺栓连接。
3.根据权利要求1所述的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，其特征在于，所述夹持气缸(23)伸缩部设置有滑动架，所述夹持臂(22)上端设置在所述夹持气缸(23)伸缩部的滑动架内侧。
4.根据权利要求1所述的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，其特征在于，所述固定架(14)与所述机箱(6)通过螺栓连接，所述吹扫风机(15)与所述固定架(14)通过螺栓连接。
5.根据权利要求1所述的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，其特征在于，所述吸附碗(24)与所述夹持臂(22)固定连接，所述真空发生器(25)与所述吸附碗(24)通过管道连接。
6.根据权利要求1所述的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，其特征在于，
所述用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构两侧还设置有能够升降的清洗箱(42)，所述夹持臂(22)伸展开后所述清洗箱(42)能够上升使所述吸附碗(24)及吸附的晶圆盒进入所述清洗箱(42)内。
7.根据权利要求6所述的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，其特征在于，
所述清洗箱(42)内设置有超声波振头(43)。
8.根据权利要求1所述的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，其特征在于，
所述夹持臂(22)下方两侧还设置有吹扫风机(15)，所述吹风机用于对伸展开的所述吸附碗(24)吸附的晶圆盒进行吹风干燥。
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