[发明专利]一种用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构

说明书

本发明公开了一种用于晶圆盒的防变形拆分机构，包括夹持架、夹持臂、夹持气缸、吸附碗、真空发生器，夹持架安装在支撑架下端，夹持臂安装在夹持架下端，夹持气缸固定部安装在夹持架顶部中间位置，夹持气缸用于驱动夹持臂伸展或收缩以使两个吸附碗从相对的状态到朝下的状态之间变换，吸附碗安装在夹持臂下端，真空发生器用于使吸附碗内产生负压。本申请的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，吸附碗在真空发生器作用下分别吸附住晶圆盒的本体和盖体，由夹持臂在夹持气缸驱动下，使晶圆盒的本体和盖体在合在一起的状态到达相互分离的状态，清洗完毕后，再可由夹持臂使晶圆盒的本体和盖体合在一起，实现了自动化分合晶圆盒，方便对晶圆盒的清洗。

技术领域

本发明涉及晶圆盒清洗领域，特别是涉及一种用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构。

背景技术

晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆；而晶圆盒内部有对称的沟槽，尺寸严格统一用于支撑晶圆的两边，通常一个晶圆盒装25片晶圆。晶圆盒一般采用耐温，耐磨，防静电添加的半透明塑料材质，不同颜色的添加剂用于区分半导体生产中的金属制程段；晶圆盒在清洗过程中，需要机构来打开晶圆盒，并将晶圆盒的本体和盖体两部分放到清洗槽内完成清洗，因此急需一种能够打开夹持分离晶圆的机构。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：

一种用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，包括夹持架、夹持臂、夹持气缸、吸附碗、真空发生器，所述夹持架安装在所述支撑架下端，所述夹持臂安装在所述夹持架下端，所述夹持气缸固定部安装在所述夹持架顶部中间位置，所述夹持气缸用于驱动所述夹持臂伸展或收缩以使两个所述吸附碗从相对的状态到朝下的状态之间变换，所述吸附碗安装在所述夹持臂下端，所述真空发生器用于使所述吸附碗内产生负压。

优选地，本发明的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，所述夹持架与所述支撑架通过螺栓连接，所述夹持臂与所述夹持架转动连接，所述夹持气缸固定部与所述夹持架通过螺栓连接。

优选地，本发明的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，所述夹持气缸伸缩部设置有滑动架，所述夹持臂上端设置在所述夹持气缸伸缩部的滑动架内侧。

优选地，本发明的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，所述固定架与所述机箱通过螺栓连接，所述吹扫风机与所述固定架通过螺栓连接。

优选地，本发明的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，所述吸附碗与所述夹持臂固定连接，所述真空发生器与所述吸附碗通过管道连接。

优选地，本发明的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，

所述用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构两侧还设置有能够升降的清洗箱，所述夹持臂伸展开后所述清洗箱能够上升使所述吸附碗及吸附的晶圆盒进入所述清洗箱内。

优选地，本发明的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，

所述清洗箱内设置有超声波振头。

优选地，本发明的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，

所述夹持臂下方两侧还设置有吹扫风机，所述吹风机用于对伸展开的所述吸附碗吸附的晶圆盒进行吹风干燥。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

1、本申请的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，吸附碗在真空发生器作用下分别吸附住晶圆盒的本体和盖体，由夹持臂在夹持气缸驱动下，使晶圆盒的本体和盖体在合在一起的状态到达相互分离的状态，清洗完毕后，再可由夹持臂使晶圆盒的本体和盖体合在一起，实现了自动化分合晶圆盒，方便对晶圆盒的清洗。

附图说明