[发明专利]硅片的移载方法有效

专利信息
申请号: 202110732152.0 申请日: 2021-06-29
公开(公告)号: CN113460689B 公开(公告)日: 2023-05-23
发明(设计)人: 许明现;谷士斌;蔡涔;胡林;马胜涛;杨星星;卢正哲 申请(专利权)人: 东方日升(常州)新能源有限公司
主分类号: B65G47/91 分类号: B65G47/91;B65G47/74;H01L21/683
代理公司: 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 代理人: 戴贤群
地址: 213200 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 方法
【说明书】:

发明涉及一种硅片的移载方法,包括以下步骤:第一移载机构将硅片从第一载体取出并暂存在固定载台上,固定载台的上表面设有固定气孔,硅片悬浮在固定载台上方,第三移载机构将固定载台上的硅片移载到第二载体。该硅片的移载方法,将硅片从第一载体取出后暂存在固定载台上,而固定载台采用气浮的方式承载硅片,可避免硅片接触固定载台而造成污染,如此,可保持硅片的洁净。并且,固定载台是固定不动的,因此,硅片能够稳定地暂放在固定载台上方,也就是说,硅片从第一载体转移到第二载体时利用固定载台作为中转站,而该中转站能够稳定承载硅片,从而可以保持硅片移载过程的稳定,有利于提高移载效率。

技术领域

本发明涉及太阳能电池生产技术领域,特别是涉及一种硅片的移载方法。

背景技术

硅片是太阳能电池的基础元件,在生产制造太阳能电池时,通常需要将硅片从一个位置移动到另一个位置。其中,硅片放置在花篮中进行制绒工序,制绒完成后硅片需要转移到载板中进行镀膜工序,因此,硅片需要从花篮转移到载板中。通常,硅片从花篮中取出后放置到皮带上,通过皮带输送一段距离,最后通过其他移载机构将硅片移载到载板上。为了避免硅片接触皮带而被污染,皮带下设有气浮箱,气浮箱吹出气体使得硅片保持悬浮状态,皮带转动从而带着硅片移动,从而实现硅片的悬浮传输。然而,由于气浮箱固定不动,而皮带转动,通过皮带输送硅片时容易出现输送不稳的情况,从而导致硅片的移载效率较低。

发明内容

有鉴于此,有必要提供一种硅片的移载方法,能够保持硅片移载过程的稳定,提高移载效率。

本发明提供一种硅片的移载方法,包括以下步骤:

第一移载机构将硅片从第一载体取出并暂存在固定载台上,固定载台的上表面设有固定气孔,硅片悬浮在固定载台上方,第三移载机构将固定载台上的硅片移载到第二载体。

在其中一个实施例中,所述固定载台的数量为多个,多个所述固定载台沿远离第一载体的方向排列成一排,所述第一移载机构从第一载体取出单片硅片后放置在靠近第一载体的固定载台上,第二移载机构将固定载台上的硅片朝远离第一载体的方向移动到其他固定载台上。

在其中一个实施例中,第一移载机构从第一载体获取一片硅片,并将该硅片放置在第一个固定载台上;

第二移载机构将第一个固定载台上的硅片转移到第二个固定载台上;

第一移载机构继续从第一载体获取一片硅片,并将该硅片放置在第一个固定载台上;

第二移载机构将第一个和第二个固定载台上的硅片同时转移到第二个和第三个固定载台上;

第一移载机构继续从第一载体获取一片硅片,并将该硅片放置在第一个固定载台上;

第二移载机构将第一个、第二个和第三个固定载台上的硅片同时转移到第二个、第三个和第四个固定载台上;

以此类推,

直到全部固定载台上都承载有硅片。

在其中一个实施例中,所述第三移载机构同时将多个固定载台上的硅片一起移载到第二载体。

在其中一个实施例中,所述第三移载机构将多个硅片从固定载台移载到第二载体的过程中,调整多个硅片之间的间距。

在其中一个实施例中,所述第三移载机构获取距离第一载体最远的固定载台上的硅片,并移载到第二载体。

在其中一个实施例中,从第一载体取出硅片时,第一移载机构获取第一载体中最靠下的一片硅片。

在其中一个实施例中,所述第二移载机构从所述固定载台下方靠近固定载台,并从固定载台上方将硅片移走。

在其中一个实施例中,所述第二移载机构从所述固定载台侧部靠近固定载台,并从固定载台上方将硅片移走。

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