[发明专利]一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质在审
申请号: | 202110737207.7 | 申请日: | 2021-06-30 |
公开(公告)号: | CN113539915A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 何烽光;冯晓庆;刘晏;刘正勇;盛俭 | 申请(专利权)人: | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L27/12 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 孙小明 |
地址: | 230013 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 转移 设备 方法 装置 电子设备 介质 | ||
1.一种转移设备,其特征在于,用于将待转移器件转移至转移目标上,所述转移设备包括:
基准工作台,所述基准工作台具有用于承载基板的一个承载面;所述承载面上具有基准原点;所述基准原点用于确定第一坐标方向的坐标和第二坐标方向的坐标;所述第一坐标方向与所述第二坐标方向相互垂直,且均与所述承载面平行;所述基板用于承载阵列分布的所述转移目标;
基准龙门和两个辅助龙门,沿所述第一坐标方向,所述基准龙门与两个所述辅助龙门平行设置,且所述基准龙门位于两个所述辅助龙门中间;所述基准龙门沿所述第二坐标方向延伸,且可沿所述第一坐标方向移动;所述基准龙门上设有两个转移执行器,沿所述第一坐标方向,两个所述转移执行器分别位于所述基准龙门的两侧;相对于所述基准龙门,每一个所述转移执行器可沿所述第二坐标方向移动,且可沿所述第一坐标方向移动;
每一个所述辅助龙门可相对于所述基准工作台沿所述第一坐标方向移动,且每一个所述辅助龙门朝向所述基准龙门的一侧连接有辅助工作台;每一个所述辅助工作台相对于所连接所述辅助龙门,可沿所述第二坐标方向移动;每一个所述辅助工作台设有弹性承载面;每一个所述弹性承载面设有辅助基准原点;所述辅助工作台用于承载所述待转移器件。
2.根据权利要求1所述的转移设备,其特征在于,每个所述转移执行器通过一第一运动组与所述基准龙门连接;每个所述辅助工作台通过一第二运动组与对应的所述辅助龙门连接。
3.根据权利要求1所述的转移设备,其特征在于,每一个所述转移执行器可相对于所述基准龙门沿第三坐标方向移动,所述第三坐标方向垂直于所述承载面;每一个所述辅助工作台可相对于所述辅助龙门沿所述第三坐标方向移动。
4.一种使用权利要求1~3任一项所述的一种转移设备进行转移的转移方法,其特征在于,用于将待转移器件转移至所述转移目标上,包括:
基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值,调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离;其中所述第一距离阈值是基准间距值的第一整数倍;所述基准间距值为沿所述第一坐标方向的任意两个相邻的所述转移目标的间距;所述设备坐标是相对于基准原点的坐标;
移动基准龙门,以使两个所述转移执行器分别对准一个所述转移目标;以及移动两个所述辅助龙门,以使两个所述转移执行器分别对准一个所述待转移器件;
控制两个所述转移执行器分别将所述对准的所述待转移器件转移至所述对准的所述转移目标上。
5.根据权利要求4所述的转移方法,其特征在于,每个所述转移执行器通过一第一运动组与所述基准龙门连接;每个所述辅助工作台通过一第二运动组与对应的所述辅助龙门连接;
所述基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值,调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离,包括:
基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值,移动两个运动组,以调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离。
6.根据权利要求4所述的转移方法,其特征在于,所述两个转移执行器包括第一转移执行器和第二转移执行器;沿所述第一坐标轴方向,所述第一转移执行器和所述第二转移执行器分别位于所述基准龙门的两侧;所述移动基准龙门,以使两个所述转移执行器分别对准一个所述转移目标,包括:
沿所述第一坐标方向移动基准龙门,以及沿所述第二坐标方向移动至少一个所述第一运动组,以使所述第一转移执行器和所述第二转移执行器分别对准所述基板的第一选定列和第二选定列中的一个所述转移目标;所述第一选定列与所述第二选定列沿所述第一坐标方向的距离为所述第一距离阈值;
所述移动两个所述辅助龙门,以使两个所述转移执行器分别对准一个所述待转移器件,包括:
基于两个辅助工作台的辅助基准原点的设备坐标,移动所述辅助龙门和所述第二运动组,以使两个所述转移执行器分别对准一个所述待转移器件,并分别对准所述基板的第一选定列和第二选定列中的一个所述转移目标。
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