[发明专利]基于梯度蒸发模具的CVD-Tax 在审
申请号: | 202110739777.X | 申请日: | 2021-06-30 |
公开(公告)号: | CN113402303A | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 张雨雷;帅康;陈慧;张建 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | C04B41/87 | 分类号: | C04B41/87 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 王鲜凯 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 梯度 蒸发 模具 cvd ta base sub | ||
1.一种基于梯度蒸发模具的CVD-TaxHf1-xC固溶体涂层的制备方法,其特征在于步骤如下:
步骤1:将C/C基体打磨抛光,采用去离子水超声清洗30min后置于温度为80℃的烘箱里烘干6h后,将其悬挂于化学气相沉积炉中;
步骤2:将前驱体HfCl4和TaCl5粉料按照摩尔比为1:3~3:1放置于蒸发容器内,并置于化学气相沉积炉的低温挥发区;
步骤3:将化学气相沉积炉抽真空至5Kpa,并且关闭阀门以及真空泵后保压1h,确保化学气相沉积炉压力无明显变化后通入流量为100~140ml/min的氩气;
步骤4:加热分两步,第一步以7℃/min加热到900℃,第二步以6℃/min加热到1100~1250℃,使炉腔在氩气保护下升温至预设温度;
步骤5:当沉积炉达到沉积温度时,通入流量为450-600ml/min的氢气和40-80ml/min的甲烷,使其与氩气在混气罐中混合后通入沉积炉,并在沉积温度下保温2-3h;
步骤6:沉积完成后挺直通入氢气和甲烷,继续通入氩气对炉腔进行清洗和降温,使炉体自然冷却,得到带有TaxHf1-xC固溶体涂层的C/C复合材料。
2.根据权利要求1所述基于梯度蒸发模具的CVD-TaxHf1-xC固溶体涂层的制备方法,其特征在于:所述沉积结束后,增大氩气流量至240mL/min,对炉腔进行清洗,及时将挥发及反映杂质抽走。
3.根据权利要求1所述基于梯度蒸发模具的CVD-TaxHf1-xC固溶体涂层的制备方法,其特征在于:所述C/C基体打磨时分别采用600#、800#、1000#的SiC砂纸打磨。
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