[发明专利]基于梯度蒸发模具的CVD-Tax在审

专利信息
申请号: 202110739777.X 申请日: 2021-06-30
公开(公告)号: CN113402303A 公开(公告)日: 2021-09-17
发明(设计)人: 张雨雷;帅康;陈慧;张建 申请(专利权)人: 西北工业大学
主分类号: C04B41/87 分类号: C04B41/87
代理公司: 西北工业大学专利中心 61204 代理人: 王鲜凯
地址: 710072 *** 国省代码: 陕西;61
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 基于 梯度 蒸发 模具 cvd ta base sub
【权利要求书】:

1.一种基于梯度蒸发模具的CVD-TaxHf1-xC固溶体涂层的制备方法,其特征在于步骤如下:

步骤1:将C/C基体打磨抛光,采用去离子水超声清洗30min后置于温度为80℃的烘箱里烘干6h后,将其悬挂于化学气相沉积炉中;

步骤2:将前驱体HfCl4和TaCl5粉料按照摩尔比为1:3~3:1放置于蒸发容器内,并置于化学气相沉积炉的低温挥发区;

步骤3:将化学气相沉积炉抽真空至5Kpa,并且关闭阀门以及真空泵后保压1h,确保化学气相沉积炉压力无明显变化后通入流量为100~140ml/min的氩气;

步骤4:加热分两步,第一步以7℃/min加热到900℃,第二步以6℃/min加热到1100~1250℃,使炉腔在氩气保护下升温至预设温度;

步骤5:当沉积炉达到沉积温度时,通入流量为450-600ml/min的氢气和40-80ml/min的甲烷,使其与氩气在混气罐中混合后通入沉积炉,并在沉积温度下保温2-3h;

步骤6:沉积完成后挺直通入氢气和甲烷,继续通入氩气对炉腔进行清洗和降温,使炉体自然冷却,得到带有TaxHf1-xC固溶体涂层的C/C复合材料。

2.根据权利要求1所述基于梯度蒸发模具的CVD-TaxHf1-xC固溶体涂层的制备方法,其特征在于:所述沉积结束后,增大氩气流量至240mL/min,对炉腔进行清洗,及时将挥发及反映杂质抽走。

3.根据权利要求1所述基于梯度蒸发模具的CVD-TaxHf1-xC固溶体涂层的制备方法,其特征在于:所述C/C基体打磨时分别采用600#、800#、1000#的SiC砂纸打磨。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西北工业大学,未经西北工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110739777.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top