[发明专利]靶材生坯摆放用布粉器、定位件及旋转靶材的烧结方法

权利要求书

1.靶材生坯摆放用布粉器(1)，其特征在于，底部形成粉堆塑形腔，腔底敞开，粉堆塑形腔顶部形成斜坡，以使得所塑形得到的粉堆顶部形成供靶材生坯摆放的斜坡。

2.根据权利要求1所述的布粉器(1)，其特征在于，所述粉堆塑形腔是围绕中心布置的，所述粉堆塑形腔的斜坡远离中心处高于其靠近中心处，以使得所塑形得到的粉堆具有斜坡且斜坡处的辅助滑动粉产生往中心倾斜滑落的趋势。

3.根据权利要求2所述的布粉器(1)，其特征在于，所述塑形腔形状为围绕中心的圆环。

4.根据权利要求2～3任一项所述的布粉器(1)，其特征在于，所述粉堆塑形腔顶部所形成的斜坡与水平面的夹角为35～50°。

5.根据权利要求2所述的布粉器(1)，其特征在于，所述粉堆塑形腔的顶壁开有供粉落入塑形腔的入漏粉孔(121)。

6.根据权利要求5所述的布粉器(1)，塑形腔顶壁的靠近中心端接有余粉承接板(13)。

7.根据权利要求6所述的布粉器(1)，其特征在于，在中心处设有管状的中心定位部(14)，其下端向下凸出作定位之用，上端高于所述余粉承接板(13)。

8.根据权利要求2所述的布粉器(1)，其特征在于，所述粉堆塑形腔的远离所述中心的侧壁是竖直的。

9.根据权利要求2所述的布粉器(1)，其特征在于，在中心处向下凸设有中心定位部(14)或向上凹设有中心定位孔14。

10.靶材生坯摆放用定位件(2)，其特征在于，包括供旋转靶材生坯套住以进行定位的定位体，该定位本体顶部设有提持部(22)，底部的竖向轴线处向下凸设有定位柱(21)或向上凹设有定位凹孔。

11.根据权利要求10所述的定位件(2)，其特征在于，所述定位柱(21)的外壁绕定位柱的轴线设置有挡板(211)。

12.一种旋转靶材的烧结方法，包括以下步骤：

步骤A.在承烧板上铺辅助滑动粉；

步骤B.把靶材生坯摆放到辅助滑动粉上，至此承烧板、靶材生坯与辅助滑动粉三者放在一起组成烧结组件；

步骤C.取烧结组件进行烧结；

其特征在于：

步骤A具体地，把所述辅助滑动粉堆成顶部形成斜坡的粉堆；

步骤B具体地，把靶材生坯摆放到粉堆的斜坡上。

13.根据权利要求12所述的旋转靶材的烧结方法，其特征在于：步骤A具体地，把所述辅助滑动粉堆成围绕中心布置的粉堆，粉堆顶部形成斜坡，该斜坡远离中心处高于其靠近中心处，以使得斜坡处的粉产生往中心倾斜滑落的趋势。

14.根据权利要求13所述的旋转靶材的烧结方法，其特征在于，所述粉堆形状为围绕中心的圆环。

15.根据权利要求13所述的旋转靶材的烧结方法，其特征在于，步骤A具体地，采用如权利要求2～9任一项所述的布粉器(1)，把布粉器(1)放到承烧板上，具体用布粉器(1)把所述辅助滑动粉堆成顶部形成斜坡的粉堆，然后取走布粉器(1)。

16.根据权利要求15所述的旋转靶材的烧结方法，其特征在于，步骤A具体地，采用如权利要求6～9任一项所述的布粉器(1)，往布粉器(1)塑形腔顶壁投放辅助滑动粉，以使辅助滑动粉从所述顶壁的漏粉孔(121)落入所述粉堆塑形腔中塑形得到所述的粉堆。

17.根据权利要求12所述的旋转靶材的烧结方法，其特征在于：所述承烧板在承载面的对应旋转靶材生坯的竖向轴线处开有定位凹孔；

步骤A具体地，将如权利要求9所述的布粉器(1)置于所述承烧板上，使布粉器(1)的中心定位部(14)插入承烧板的定位凹孔中从而固定布粉器(1)，具体用布粉器(1)把所述辅助滑动粉堆成顶部形成斜坡的粉堆，然后取走布粉器(1)。

步骤B具体地，将如权利要求10或11所述的定位件(2)置于所述承烧板上，使定位件(2)的定位柱(21)插入承烧板的定位凹孔中以固定定位件(2)，使靶材生坯套住定位件(2)外周摆放在粉堆的斜坡上，然后抓住定位件(2)上的提持部(22)提走定位件(2)。