[发明专利]靶材生坯摆放用布粉器、定位件及旋转靶材的烧结方法

说明书

本发明涉及靶材生坯摆放用布粉器、定位件及旋转靶材的烧结方法，在承烧板上用辅助滑动粉堆出顶部具有斜坡的粉堆，再把旋转靶材生坯摆放到粉堆的斜坡上。烧结时，靶材生坯收缩会带动氧化铝粉堆相对承烧板沿径向向内移动，从而使旋转靶材生坯和承烧板之间的水平静摩擦力转变为滑动摩擦力，辅助滑动粉形成粉堆后的滑动效果要优于现有技术平铺一层的滑动效果，能更好地降低靶材与承烧板之间的摩擦阻力，减小靶材生坯收缩时产生的摩擦阻力，防止由摩擦阻力导致的靶材不规则变形和开裂。

技术领域

本发明涉及陶瓷靶材烧结技术领域，具体涉及靶材生坯摆放用布粉器、定位件及旋转靶材的烧结方法。

背景技术

传统的工艺在进行旋转靶材烧结时，是将生坯直接竖直放置在氧化铝等承烧板上，然后一起放进烧结炉中进行烧结，烧结时靶材生坯会整体向内收缩，靶材底部与承烧板接触的位置会产生较大的摩擦力阻力，这个摩擦阻力会阻止靶材底部向内收缩，使靶材底部收缩的产生的形变量与上部产生的形变量不等，导致靶材底部产生向外的变形甚至开裂，后续加工时需要切削去除变形开裂的部分，增大了物料损耗和工艺成本，影响靶材的良品率和取材率。

现还有一种方法是先在承烧板上平铺一层氧化铝粉，再将生坯放置在氧化铝粉上，从而减小靶材收缩时与承烧板之间摩擦力。CN206369474U公开了一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置，包括圆筒形的陶瓷生坯和炉底板，以及垫在陶瓷生坯和炉底板之间的垫烧块，其公开的烧结方法是在陶瓷生坯与垫烧块之间、垫烧块与炉底板之间各设置一层滚珠层，将滑动摩擦变成滚动摩擦，大大减少摩擦力，使陶瓷生坯在烧结加温的收缩过程中可以自由收缩。由于高温烧结时靶材处于柔软状态，采用这两种方法，若靶材重量大，垫烧块或滚珠在高温状态下容易嵌入靶材，导致滑移效果变差，难以有效防止由摩擦阻力导致的不规则变形。

发明内容

本发明目的在于提供靶材生坯摆放用布粉器、定位件及旋转靶材的烧结方法，用该方法对靶材生坯进行烧结可减小靶材生坯在烧结过程中与承烧板之间产生的摩擦阻力，防止由摩擦阻力导致的靶材不规则变形和开裂。

为实现上述目的，本发明提供靶材生坯摆放用布粉器，该布粉器底部形成粉堆塑形腔，腔底敞开，粉堆塑形腔顶部形成斜坡，以使得所塑形得到的粉堆顶部形成供靶材生坯摆放的斜坡，斜坡上的粉受到靶材生坯的重力作用会向下滑落，从而将靶材生坯与承烧板之间的摩擦力转变为滑动摩擦力，辅助滑动粉形成粉堆后的滑动效果要优于现有技术平铺一层的滑动效果，能更好地降低靶材与承烧板之间的摩擦阻力。

有益效果：本发明在承烧板上用辅助滑动粉堆出顶部具有斜坡的粉堆，再把靶材生坯摆放到粉堆的斜坡上。烧结时，靶材生坯收缩会带动氧化铝粉堆相对承烧板移动，从而使靶材生坯和承烧板之间的静摩擦力转变为滑动摩擦力，辅助滑动粉形成粉堆后的滑动效果要优于现有技术平铺一层的滑动效果，能更好地降低靶材与承烧板之间的摩擦阻力，减小靶材生坯收缩时产生的摩擦阻力，防止由摩擦阻力导致的靶材不规则变形和开裂。

附图说明

图1为布粉器的结构示意图；

图2为布粉器的剖视图；

图3为定位件的结构示意图。

具体实施方式

以下结合具体实施方式对本发明创造作进一步详细说明。

承烧板的承载面上开有定位凹孔，其为通孔。采用如图1和图2所示的布粉器1，布粉器1的中心处向下凸设有管状的中心定位部14，其下端向下凸出。把布粉器1放到承烧板上。布粉器1的中心定位部14插入承烧板的定位凹孔中，籍此把布粉器1固定在承烧板上。