[发明专利]平面靶材压制装置、方法及计算机可读存储介质

权利要求书

1.平面靶材压制装置，包括用于放置平面靶材的板坯的承托板、加压装置和用于带动加压装置靠近或远离承托板的移位装置，其特征在于，包括抽气装置和与所述抽气装置连接的导气板，所述导气板具有用于接触平面靶材板面的接触面，该抽气装置抽气则所述导气板接触面处的气体经导气板进入抽气装置。

2.根据权利要求1所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述导气板安装在加压装置的下表面。

3.根据权利要求1或2所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述导气板安装在承托板的上表面。

4.根据权利要求1所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述导气板为微孔陶瓷板。

5.根据权利要求1所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述导气板为熔喷式纤维板。

6.根据权利要求5所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述熔喷式纤维板分为多层，各层的孔隙递增。

7.根据权利要求1所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述导气板的孔隙小于等于20微米。

8.根据权利要求1所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述加压装置包括加热板。

9.平面靶材压制方法，其特征是，压制装置如权利要求1～8中任一项所述，通过上述压制装置对平面靶材板坯进行压制前，先对平面靶材板坯的外表面进行加热和抽气处理。

10.计算机可读存储介质，其存储有计算机程序，其特征是，平面靶材压制装置包括处理器，所述计算机程序被处理器执行时能够实现权利要求9所述的平面靶材压制方法。