[发明专利]平面靶材压制装置、方法及计算机可读存储介质

说明书

本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种平面靶材压制装置、方法及计算机可读存储介质。提供一种平面靶材压制装置，包括用于放置平面靶材的板坯的承托板、加压装置和用于带动加压装置靠近或远离承托板的移位装置，包括抽气装置和与所述抽气装置连接的导气板，所述导气板具有用于接触平面靶材板面的接触面，该抽气装置抽气则所述导气板接触面处的气体经导气板进入抽气装置，在对平面靶材进行压制时，先通过抽气装置对平面靶材的板坯进行抽气处理，使得平面靶材的板坯在进行压制时先抽取其中夹杂的空气，避免在压制后时压缩的空气在压制完成后膨胀而挤压板坯的粉体，减少靶材开裂的几率。

技术领域

本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种平面靶材压制装置，利用该平面靶材压制装置实现的平面靶材压制方法以及计算机可读存储介质。

背景技术

近年来，采用溅射法制备的薄膜材料因其高致密度、优良附着性等优点，受到平面显示器、电子处理器、玻璃镀膜、光学薄膜等行业的青睐。随着上述领域的高速发展，溅射靶材的需求量急剧增加。根据溅射面的形状，靶材通常可分为平面靶材，旋转靶材和异型靶材。平面靶材溅射使用可达到30％～40％，尺寸可根据需要裁定，且方便使用，因此在小型磁控溅射需求领域使用频繁。

在平面靶材的制备工艺中，对靶材进行烧结前需要进行压制，使得靶材原材料的粉体压实成型。但现有的压制工艺在压制完成后容易出现靶材开裂等问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：提供一种平面靶材压制装置以及通过该装置实现的平面靶材压制方法，其能减少靶材开裂风险。

提供一种平面靶材压制装置，包括用于放置平面靶材的板坯的承托板、加压装置和用于带动加压装置靠近或远离承托板的移位装置，包括抽气装置和与所述抽气装置连接的导气板，所述导气板具有用于接触平面靶材板面的接触面，该抽气装置抽气则所述导气板接触面处的气体经导气板进入抽气装置。

优选地，所述导气板安装在加压装置的下表面。

优选地，所述导气板安装在承托板的上表面。

优选地，所述导气板为微孔陶瓷板。

优选地，所述导气板为熔喷式纤维板。

优选地，所述熔喷式纤维板分为多层，各层的孔隙递增。

优选地，所述导气板的孔隙小于等于20微米。

优选地，所述加压装置包括加热板。

还提供一种平面靶材压制方法，其通过上述压制装置对平面靶材板坯进行压制前，先对平面靶材板坯的外表面进行加热和抽气处理。

还提供一种计算机可读存储介质，该存储介质存储有可执行计算机程序，计算机程序被平面靶材压制装置的处理器执行时能够实现上述平面靶材压制方法。

有益效果：该平面靶材压制装置设有抽气装置，在对平面靶材进行压制时，先通过抽气装置对平面靶材的板坯进行抽气处理，使得平面靶材的板坯在进行压制时先抽取其中夹杂的空气，避免在压制后时压缩的空气在压制完成后膨胀而挤压板坯的粉体，减少靶材开裂的几率。

附图说明

图1是本发明的平面靶材压制装置的结构示意图。

图2是本发明的平面靶材压制装置的多层熔喷式纤维板的结构示意图。

具体实施方式

以下结合具体实施方式对本发明创造作进一步详细说明。

实施例一