[发明专利]一种改善伯努利手臂取圆片的方法在审
| 申请号： | 202110746865.2 | 申请日： | 2021-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN113628998A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 丁爱祥;吕剑;苏亚青 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/268 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改善 伯努利 手臂 取圆片 方法 | ||
1.一种改善伯努利手臂取圆片的方法，其特征在于，包括以下步骤：
S11：通过重量测量单元测量圆片盒的总重量；
S12：装载所述圆片盒至圆片输入埠；
S13：感测所述圆片盒内圆片的数量；
S14：根据所述总重量和所述数量计算所述圆片盒内单片圆片的重量；以及
S15：根据所述单片圆片的重量选择压缩气体管路，使所述伯努利手臂产生对应的吸力以吸取所述圆片。
2.根据权利要求1所述的改善伯努利手臂取圆片的方法，其特征在于，所述压缩气体管路包括多条第一压缩气体管路和第二压缩气体管路，所述多条第一压缩气体管路的一端接收压缩气体，所述第二压缩气体管路连接在所述多条第一压缩气体管路的另一端和气缸之间。
3.根据权利要求2所述的改善伯努利手臂取圆片的方法，其特征在于，设定多个重量区间，其中，每个所述重量区间与每条所述第一压缩气体管路一一对应。
4.根据权利要求3所述的改善伯努利手臂取圆片的方法，其特征在于，当所述单片圆片的重量在对应的所述重量区间内时，选择对应的所述第一压缩气体管路。
5.根据权利要求2所述的改善伯努利手臂取圆片的方法，其特征在于，每条所述第一压缩气体管路包括第一电磁阀；通过控制所述多条第一压缩气体管路的所述第一电磁阀开通或关闭，选择对应的所述第一所述压缩气体管路。
6.根据权利要求5所述的改善伯努利手臂取圆片的方法，其特征在于，每条所述第一压缩气体管路还包括单向阀和减压阀。
7.根据权利要求2所述的改善伯努利手臂取圆片的方法，其特征在于，步骤S15具体包括：根据所述单片圆片的重量选择所述第一压缩气体管路，使得压缩气体通过对应的所述第一压缩气体管路和所述第二压缩气体管路流入所述气缸，使所述气缸动作，进而使所述伯努利手臂产生对应的吸力以吸取所述圆片。
8.根据权利要求2所述的改善伯努利手臂取圆片的方法，其特征在于，所述第二压缩气体管路包括流量计和第二电磁阀。
9.根据权利要求2所述的改善伯努利手臂取圆片的方法，其特征在于，所述气缸包括位置传感器。
10.根据权利要求9所述的改善伯努利手臂取圆片的方法，其特征在于，还包括步骤S16：
通过所述位置传感器测量所述气缸位置，控制所述气缸动作。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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