[发明专利]一种新型曝光机

权利要求书

1.一种新型曝光机，包括沿光刻胶(100)传送方向依次设置的放卷装置(200)、曝光装置(300)以及收卷装置(400)，曝光装置(300)包括机架(1)、固设于机架(1)顶部的光刻板(2)、固设于光刻板(2)下方的曝光机构(3)以及盖板机构(4)，其特征在于：所述盖板机构(4)包括盖设于光刻板(2)顶面的框架(41)、软性压片组件(42)、抽真空组件(43)以及升降组件(44)，所述软性压片组件(42)封盖于框架(41)内侧，以令光刻板(2)、框架(41)以及软性压片组件(42)可共同形成一抽真空腔体(500)，所述抽真空组件(43)固设于机架(1)上且与抽真空腔体(500)相连通，所述升降组件(44)固设于机架(1)上且用于驱动框架(41)沿竖向升降；所述软性压片组件(42)包括由上至下依次设置的高弹性压片(421)以及低弹性压片(422)，所述高弹性压片(421)封盖于框架(41)内侧顶部，所述框架(41)内侧中部相对设置的两侧均开设有一安装槽(51)，两个所述安装槽(51)内均可转动地设有一安装轴(52)，所述低弹性压片(422)两侧分别固定绕设于两个安装轴(52)；两个所述安装轴(52)与框架(41)之间均设有弹性复位件(53)，以令两个安装轴(52)分别对低弹性压片(422)两侧形成拉力。

2.根据权利要求1所述的一种新型曝光机，其特征在于：所述框架(41)内侧顶部四周开设有一密封槽(54)，所述密封槽(54)槽口下侧固设有一密封块(55)，所述密封块(55)朝向密封槽(54)槽底一侧固设有一密封条(56)；所述高弹性压片(421)四周延伸至密封槽(54)内且与密封块(55)固定连接，以令密封条(56)夹持于密封块(55)与高弹性压片(421)之间。

3.根据权利要求1所述的一种新型曝光机，其特征在于：所述升降组件(44)包括升降架(441)、两组升降柱(442)以及驱动结构(443)，所述升降架(441)围设于框架(41)四周且与框架(41)固定连接，两组所述升降柱(442)均固设于机架(1)上且分别位于升降架(441)两侧，每个所述升降柱(442)一侧均开设有沿竖向延伸的升降槽(444)，每个所述升降槽(444)内均滑动设有与升降架(441)固定连接的滑块(445)，且每个所述升降槽(444)内均可转动地设有与滑块(445)螺纹连接传动的丝杆(446)；所述驱动结构(443)安装于升降柱(442)顶部且用于驱动所有丝杆(446)同步转动。

4.根据权利要求3所述的一种新型曝光机，其特征在于：所述驱动结构(443)包括主轴(61)、两个副轴(62)以及驱动件(63)，所述主轴(61)可转动地设置于机架(1)预设的支架上，两个所述副轴(62)与两组升降柱(442)一一相对应设置，每个所述副轴(62)均可转动地穿设于相对应的升降柱(442)顶部，且每个所述副轴(62)与相对应升降柱(442)内的丝杆(446)之间、主轴(61)与两个副轴(62)之间均通过预设的传动结构(64)相连接传动；所述驱动件(63)固设于支架上且用于驱动主轴(61)转动。

5.根据权利要求3所述的一种新型曝光机，其特征在于：所述机架(1)与放卷装置(200)之间、机架(1)与收卷装置(400)之间均设有一抬升组件(7)，所述抬升组件(7)包括位于光刻胶(100)下方的抬升辊(71)以及两个抬升杆(72)，每个所述抬升杆(72)一侧均固设有一直线导轨(73)，每个所述直线导轨(73)均滑动设置于升降架(441)预设的直线滑槽(74)内，每个所述抬升杆(72)顶部均固设有一限位块(75)，所述抬升辊(71)两端分别可转动地穿设于两个抬升杆(72)底部。

6.根据权利要求1所述的一种新型曝光机，其特征在于：所述框架(41)包括边框(411)以及密封圈(412)，所述密封圈(412)固设于边框(411)朝向光刻板(2)一侧。

7.根据权利要求6所述的一种新型曝光机，其特征在于：所述边框(411)一侧开设有与抽真空腔体(500)相连通的气孔(413)，所述气孔(413)远离抽真空腔体(500)一端可拆卸安装有与抽真空组件(43)相连通的快速接头(414)。