[发明专利]一种铜靶材侧边的抛光方法在审
| 申请号： | 202110758400.9 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113400104A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;赵丽;李闯;张晓驰 | 申请（专利权）人： | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B29/02;B24B9/04 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 516001 广东省惠州市惠州仲恺高新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铜靶材 侧边 抛光 方法 | ||
1.一种铜靶材侧边的抛光方法，其特征在于，所述抛光方法包括以下步骤：
采用手持抛光设备对铜靶材的侧边进行半自动抛光处理；
所述半自动抛光处理包括三道抛光工序，依次为第一道抛光工序、第二道抛光工序和第三道抛光工序；
每一道抛光工序的给进速度依次递减。
2.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，所述半自动抛光处理之前还包括将铜靶材与背板进行焊接处理；
优选地，所述背板包括不锈钢背板。
3.根据权利要求1或2所述的抛光方法，其特征在于，所述铜靶材包括方形铜靶材、圆形铜靶材或环形铜靶材中的任意一种。
4.根据权利要求1-3任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述手持抛光设备为手枪钻；
优选地，所述手枪钻的头部安装有抛光轮；
优选地，所述抛光轮的表面设置有百洁布。
5.根据权利要求4所述的抛光方法，其特征在于，所述百洁布的规格为150-500#；
优选地，每一道抛光工序采用特定规格的百洁布。
6.根据权利要求1-5任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述第一道抛光工序采用的百洁布规格为150-240#；
优选地，所述第一道抛光工序采用的抛光轮转速为600-800r/min；
优选地，所述第一道抛光工序的给进速度为6-8mm/min。
7.根据权利要求1-6任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述第二道抛光工序采用的百洁布规格为240-320#；
优选地，所述第二道抛光工序采用的抛光轮转速为400-600r/min；
优选地，所述第二道抛光工序的给进速度为4-6mm/min。
8.根据权利要求1-7任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述第三道抛光工序采用的百洁布规格为320-500#；
优选地，所述第三道抛光工序采用的抛光轮转速为200-400r/min；
优选地，所述第三道抛光工序的给进速度为2-4mm/min。
9.根据权利要求1-8任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述半自动抛光处理之后还包括对铜靶材的侧边依次进行清洗与干燥。
10.根据权利要求1-9任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述抛光方法包括以下步骤：
(1)将铜靶材与不锈钢背板进行焊接处理；
(2)采用手持抛光设备对铜靶材的侧边进行半自动抛光处理；所述手持抛光设备为头部安装有抛光轮的手枪钻，且抛光轮的表面设置有百洁布；所述半自动抛光处理包括三道抛光工序，依次为第一道抛光工序、第二道抛光工序和第三道抛光工序；所述第一道抛光工序采用的百洁布规格为150-240#，抛光轮转速为600-800r/min，给进速度为6-8mm/min；所述第二道抛光工序采用的百洁布规格为240-320#，抛光轮转速为400-600r/min，给进速度为4-6mm/min；所述第三道抛光工序采用的百洁布规格为320-500#，抛光轮转速为200-400r/min，给进速度为2-4mm/min；
(3)对铜靶材的侧边依次进行清洗与干燥；
其中，所述铜靶材包括方形铜靶材、圆形铜靶材或环形铜靶材中的任意一种。
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