[发明专利]一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法

权利要求书

1.一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，其特征在于，包括以下步骤，步骤1，使用真空吸盘吸附靶材并放置到气浮台上；步骤2，开启气浮台，使靶材保持悬浮状态；步骤3，将靶材依次套入到两个PE袋中并抽真空，进行双重真空包装；步骤4，使用真空吸盘将包装后的靶材吸附转运放置到铝板上，在靶材上侧再覆盖铝板，使用胶带进行捆绑固定；步骤5，将固定好的靶材放置到吊篮中，进行冷等静压制备。

2.如权利要求1所述的一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，其特征在于：所述真空吸盘采用海绵真空吸盘，真空吸盘的压力为0.3-0.6mpa。

3.如权利要求1所述的一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，其特征在于：所述气浮台的压力为0.2-0.5mpa,靶材上浮高度为0.2-0.5mm。

4.如权利要求1所述的一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，其特征在于：所述PE袋采用真空七层复合PE袋。

5.如权利要求1所述的一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，其特征在于：靶材在双重真空包装之前，在靶材各边角上套设护角，护角尺寸为30*30mm。

6.如权利要求1所述的一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，其特征在于：铝板内侧面上设有弹性垫层。