[发明专利]一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法

说明书

本发明提供一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，包括以下步骤，步骤1，使用真空吸盘吸附靶材并放置到气浮台上；步骤2，开启气浮台，使靶材保持上浮状态；步骤3，将靶材依次套入到两个PE袋中并抽真空，进行双重真空包装；步骤4，使用真空吸盘将包装后的靶材吸附转运放置到铝板上，在靶材上侧再覆盖铝板，使用胶带进行捆绑固定；步骤5，将固定好的靶材放置到吊篮中，进行冷等静压制备。通过采用真空吸盘对靶材进行吸附转运，通过气浮台将靶材悬空放置，便于后续对靶材的真空包装，减少了人工搬运靶材，减少了靶材破裂的产生，从而提高了靶材产品质量。

技术领域

本发明涉及靶材加工生产技术领域，尤其涉及一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法。

背景技术

平面显示行业的快速发展对所使用的材料提出了更高的要求。对于ITO靶材而言，需要更大的尺寸，更高的密度，更低的电阻率，和更高的使用率。其中大尺寸一项是ITO靶材制备过程中的主要难点，难点主要包含了油压成型，等静压成型，过程装运等。其中等静压时，大尺寸素胚强度较低，靶材较薄，一般的正常装运或者包装过程，需要人工对靶材进行翻动，在翻动过程中极易出现素胚开裂，或者破损等异常。素胚开裂会直接导致靶材报废，造成大量的生产成本损失，良率收到影响或者直接导致订单无法完成。因此解决这个问题就变得很重要了。

发明内容

本发明的目的是提供一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，通过采用真空吸盘吸附转运的方式移动靶材，将靶材放置在气浮台上，通过气浮台的浮力作用，使靶材悬浮在气浮台上，便于后续对靶材套装包装袋抽真空的操作，减少了人工对靶材搬运移动的操作，减少了靶材的受力，从而解决了背景技术中靶材转运过程中容易造成开裂的问题。

本发明提供一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，包括以下步骤，步骤1，使用真空吸盘吸附靶材并放置到气浮台上；步骤2，开启气浮台，使靶材保持悬浮状态；步骤3，将靶材依次套入到两个PE袋中并抽真空，进行双重真空包装；步骤4，使用真空吸盘将包装后的靶材吸附转运放置到铝板上，在靶材上侧再覆盖铝板，使用胶带进行捆绑固定；步骤5，将固定好的靶材放置到吊篮中，进行冷等静压制备。

进一步改进在于：所述真空吸盘采用海绵真空吸盘，真空吸盘的压力为0.3-0.6mpa。

进一步改进在于：所述气浮台的压力为0.2-0.5mpa,靶材上浮高度为0.2-0.5mm。

进一步改进在于：所述PE袋采用真空七层复合PE袋。

进一步改进在于：靶材在双重真空包装之前，在靶材各边角上套设护角，护角尺寸为30*30mm。

进一步改进在于：铝板内侧面上设有弹性垫层。

本发明的有益效果：通过采用海绵真空吸盘对靶材吸附平移转运，减少了人工搬运的过程；将靶材放置在气浮台上，通过气浮台的浮力作用，使靶材悬浮放置在气浮台上，便于后续作业人员进行使用包装袋进行包装，使作业人员可以快速直接的将包装袋套在靶材上，使靶材可以不受太大的力的情况下进行移动，使包装袋可以顺利套入，有效的防止了靶材包装时受力开裂，同时也大大提高了包装的效率；在靶材边角上套设护角，防止靶材边角尖锐部分割破包装袋，提高了真空包装的密封性；通过采用上下两片铝板夹紧固定靶材，防止靶材在等静压的过程中曲翘、开裂，并且铝板内侧设有弹性垫层，使靶材受力均匀，提高靶材等静压成型的效果。

具体实施方式

为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。

本实施例提供一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，包括以下步骤，步骤1，使用真空吸盘吸附靶材并放置到气浮台上，所述真空吸盘采用海绵真空吸盘，真空吸盘的压力为0.5mpa；

步骤2，开启气浮台，使靶材保持悬浮状态，所述气浮台的压力为0.4mpa,靶材上浮高度为0.4mm；