[发明专利]制造半导体器件的方法、系统以及非暂时性计算机可读介质在审

专利信息
申请号: 202110767283.2 申请日: 2021-07-07
公开(公告)号: CN113536728A 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 苏哿颖;吴泽铭;林珀瑞 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: G06F30/392 分类号: G06F30/392;G06F30/33
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;李伟
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 制造 半导体器件 方法 系统 以及 暂时性 计算机 可读 介质
【权利要求书】:

1.一种制造半导体器件的方法,相应的布局图被存储在非暂时性计算机可读介质上,所述布局图包括布局单元,所述方法包括生成所述布局图,包括:

从所述布局图中的所述布局单元中选择候选单元;

在存储预定义单元和相应的寄生电容(PC)描述的数据库中,在所述数据库中搜索与所述候选单元基本匹配的所述预定义单元中的一个;以及

当发现基本匹配时,将匹配的所述预定义单元的所述PC描述分配给所述候选单元。

2.根据权利要求1所述的方法,还包括:

迭代进行所述选择候选单元、所述搜索所述数据库和所述分配所述PC描述;并且

其中:

所述布局图包括一个列出每个所述布局单元的名单;和

所述选择候选单元的所述迭代逐步进行所述名单中列出的每个所述布局单元。

3.根据权利要求1所述的方法,还包括:

当在所述预定义单元与所述候选单元之间未发现基本匹配时,离散地计算所述候选单元的PC描述;并且

添加所述数据库以包括:

所述候选单元作为所述预定义单元中的新的一个;和

将所述候选单元的所述PC描述作为预定义单元的所述新的一个的PC描述。

4.根据权利要求3所述的方法,其中,离散地计算所述候选单元的新的PC描述包括:

在所述候选单元上实施3D场求解器工具以计算所述新的PC描述。

5.根据权利要求1所述的方法,其中:

所述候选单元为第一候选单元;并且

所述方法还包括:

从所述布局图中的所述布局单元中选择第二候选单元;

在所述数据库中搜索与所述第二候选单元基本匹配的所述预定义单元中的一个;和

当发现基本匹配时,将匹配的所述预定义单元的所述PC描述分配给所述第二候选单元,从而避免原本必须离散地计算所述第二候选单元的PC描述。

6.根据权利要求1所述的方法,其中:

所述候选单元的所述PC描述包括所述候选单元的单元内PC描述。

7.根据权利要求1所述的方法,其中:

所述选择所述候选单元包括:

从所述布局图中提取布局单元的初始群体;

在所述初始群体中搜索所述初始群体中的基本匹配的两个或更多个布局单元(第一重复布局单元);和

所述第一重复布局单元中的所选的一个(所选的第一重复布局单元)是所述候选单元。

8.根据权利要求7所述的方法,还包括:

将匹配的所述预定义单元的所述PC描述批量分配给除了所述所选的第一重复布局单元之外的所述第一重复布局单元的其余一个,从而避免了原本必须离散地计算所述第一重复布局单元的所述其余一个的每个的PC描述。

9.一种非暂时性计算机可读介质,其上存储有表示生成布局图的方法的计算机可执行指令,所述布局图包括组织为布局组的布局单元,每个布局组包括中央单元和与所述中央单元相邻的一个或多个单元的集合(相邻单元),所述计算机可执行指令由至少一个处理器执行以执行一种方法,所述方法包括所述生成所述布局图,包括:

从所述布局组中选择候选布局组;

在存储预定义组和对应的寄生电容(PC)描述的数据库中,每个预定义组包括主题预定义单元以及相应的与所述主题预定义单元相邻的一个或多个所述预定义单元的集合,

在所述数据库中搜索与所述候选单元组基本匹配的所述预定组中的一个;和

当发现基本匹配时,将匹配的所述预定义组的所述PC描述分配给所述候选布局组。

10.一种用于制造半导体器件的系统,所述系统包括:

至少一个处理器;

至少一个存储计算机可执行代码的非暂时性计算机可读介质;

所述至少一个非暂时性计算机可读存储介质,所述计算机可执行代码和所述至少一个处理器被配置为使所述系统生成包括布局单元的布局图,所述布局图的生成包括:

从所述布局图中的所述布局单元中选择候选单元;

在存储预定义单元及其对应的单元内寄生电容(PC)描述的数据库中,在所述数据库中搜索与候选单元基本匹配的所述预定义单元中的一个;和

当发现基本匹配时,将匹配的所述预定义单元的所述单元内PC描述分配给所述候选单元。

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