[发明专利]一种恒定高压退火制备钙钛矿薄膜的装置和方法

权利要求书

1.一种恒定高压退火制备钙钛矿薄膜的方法，其特征在于，所述方法步骤如下：

S1.打开机械腔主体（1）两侧可垂直升降开关的面板（2），将钙钛矿湿膜置于衬底平台（4）上，然后关闭机械腔主体（1）两侧可垂直升降开关的面板（2）；

S2.启动真空泵（7），使机械腔主体（1）内部压强降为50 pa-100 pa，将薄膜中的溶剂大部分挥发；

S3.关闭真空泵（7），打开第一流量阀（11），惰性气体装置（5）中的惰性气体进入机械腔主体（1），再打开第二流量阀（12），维持机械腔主体（1）内压强0.2-0.5 Mpa，开启红外辐射加热装置（8）维持机械腔主体（1）温度150 ℃，并保持10min，促进钙钛矿成核结晶；

S4. 关闭红外辐射加热装置（8），关闭第一流量阀（11），释放机械腔主体（1）内气体至腔内达到常压，打开机械腔主体（1）两侧可垂直升降开关的面板（2），取出钙钛矿薄膜；

恒定高压退火制备钙钛矿薄膜的装置，其特征在于：所述装置包括机械腔主体（1）；机械腔主体（1）两侧设置有可垂直升降开关的面板（2），上表面设有透明石英玻璃窗口（3），内部设有衬底平台（4），底部连通惰性气体装置（5）、排气管（6）和真空泵（7）；透明石英玻璃窗口（3）正上方设有红外辐射加热装置（8）。

2.根据权利要求1所述的恒定高压退火制备钙钛矿薄膜的方法，其特征在于，所述机械腔主体（1）上方连接压强表（9）和温度监测器（10）。

3.根据权利要求1所述的恒定高压退火制备钙钛矿薄膜的方法，其特征在于，所述惰性气体装置（5）出气口处设有第一流量阀（11）。

4.根据权利要求1所述的恒定高压退火制备钙钛矿薄膜的方法，其特征在于，所述排气管（6）处设有第二流量阀（12）。

5.根据权利要求1所述的恒定高压退火制备钙钛矿薄膜的方法，其特征在于，所述机械腔主体（1）与可垂直升降开关的面板（2）之间设有密封胶圈（13）。

6.根据权利要求1所述的恒定高压退火制备钙钛矿薄膜的方法，其特征在于，所述衬底平台（4）用于放置钙钛矿薄膜。