[发明专利]一种超大尺寸铌酸锂单晶的生长方法有效
| 申请号： | 202110768733.X | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113529170B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 孙德辉;王蒙;韩文斌;刘宏 | 申请（专利权）人： | 山东恒元半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/30 | 分类号： | C30B29/30;C30B15/36 |
| 代理公司： | 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业) 37240 | 代理人： | 薛鹏喜 |
| 地址： | 271199 山东省济南市莱芜高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超大 尺寸 铌酸锂单晶 生长 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种超大尺寸铌酸锂单晶的生长方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)首先采用提拉法制备小尺寸晶体；在小尺寸晶体生长结束后提拉一段细颈；然后进入扩肩、等径和收尾阶段，完成超大尺寸铌酸锂单晶的生长；
(2)超大尺寸铌酸锂单晶生长结束后，冷却，将超大尺寸铌酸锂单晶与细颈分离，获得超大尺寸铌酸锂单晶；
步骤(1)中，小尺寸晶体直径与超大尺寸铌酸锂单晶直径的比为(20-40)：(200-300)；
步骤(1)中，所述小尺寸晶体的直径为20-30mm，长度为8-9mm；
步骤(1)中，所述细颈的长度为6-10mm，细颈的直径为6-8mm；
步骤(1)中，所述提拉法制备小尺寸晶体包括：配料、混料、烧结、熔化、引晶、缩颈、扩肩、等径和收尾；
所述配料是以碳酸锂和五氧化二铌为原料，按锂铌摩尔比48.38/51.62进行配料。
2.根据权利要求1所述的生长方法，其特征在于，步骤(2)中，在细颈的3-5mm处将超大尺寸铌酸锂单晶与细颈分离。
3.根据权利要求1所述的生长方法，其特征在于，步骤(2)中，所述超大尺寸铌酸锂单晶的直径为200-300mm。
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