[发明专利]一种银旋转靶材的加工方法在审
| 申请号： | 202110775202.3 | 申请日： | 2021-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN113579647A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 钱增杰;黄宇彬;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 加工 方法 | ||
1.一种银旋转靶材的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：对银旋转靶材表面进行车削加工，所述车削加工依次包括粗加工和精加工，所述粗加工过程中的进刀量为1-1.5mm，所述精加工过程中的进刀量为0.2-0.5mm。
2.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述精加工过程按照进刀量依次减小包括三个阶段，第一阶段的进刀量为0.5mm，第二阶段的进刀量为0.3mm，第三阶段的进刀量为0.2mm。
3.如权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，所述精加工过程中银旋转靶材的转速为400-600转/分钟，进给速度为0.05-0.1mm/转。
4.如权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，所述精加工过程中刀片与靶材之间的角度为45°。
5.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述粗加工过程中的进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟。
6.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述车削加工采用金刚石刀片。
7.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，在所述车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在所述银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却。
8.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，在所述精加工之后，还包括端面加工和/或抛光。
9.如权利要求8所述的加工方法，其特征在于，所述端面加工过程中的进刀量为1-1.5mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟。
10.如权利要求8所述的加工方法，其特征在于，采用百洁布进行抛光操作，所述百洁布的目数为1000-3000目。
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