[发明专利]显示方法和基板处理装置

权利要求书

1.一种显示方法，用于显示表示与基板处理有关的信息的多个参数，所述显示方法包括以下工序：

获取以预先设定的周期进行采样得到的多个所述参数的测定值、以及与所述测定值的采样时间有关的信息；

基于与所述测定值的采样时间有关的信息，按照进行了采样的顺序在多个所述参数的测定值中提取发生了随时间变化的测定值，或者提取所述发生了随时间变化的测定值和在紧挨该发生了随时间变化的测定值之前进行采样得到的测定值；

将提取出的多个所述参数的测定值同与所述测定值的采样时间有关的信息相关联地存储于存储器部；

基于存储器部中存储的与所述测定值的采样时间有关的信息，将多个所述参数的测定值绘制成曲线图；以及

显示绘制出的所述曲线图。

2.根据权利要求1所述的显示方法，其特征在于，

获取到的与所述测定值的采样时间有关的信息是获取到的所述测定值的采样编号，

在绘制成所述曲线图的工序中，根据基于所述采样编号得到的整数与所述周期的乘积，来计算所述测定值的采样时间，将多个所述参数的测定值与所述测定值的采样时间相对应地绘制成曲线图。

3.根据权利要求1或2所述的显示方法，其特征在于，

还包括以下工序：将获取到的多个所述参数的测定值同与所述测定值的采样时间有关的信息相关联地保存于数据文件，

在向所述存储器部进行存储的工序中，将从所述数据文件中保存的多个所述参数的测定值中提取出的多个所述参数的测定值同与所述测定值的采样时间有关的信息相关联地存储于所述存储器部。

4.根据权利要求3所述的显示方法，其特征在于，

在获取所述测定值的工序中，在所述基板处理的期间，以所述周期对多个所述参数的测定值进行采样并与表示所述采样的顺序的采样编号相关联地存储于所述数据文件。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的显示方法，其特征在于，还包括以下工序：

显示能够请求绘制所述曲线图的画面；

响应于能够请求绘制所述曲线图的画面的显示来输出指示信号，该指示信号用于指示提取所述测定值的工序的开始。

6.一种基板处理装置，执行基板处理，所述基板处理装置具备：

获取部，其获取以预先设定的周期进行采样得到的多个参数的测定值、以及与所述测定值的采样时间有关的信息；

数据处理部，其基于与所述测定值的采样时间有关的信息，按照进行了采样的顺序在多个所述参数的测定值中提取发生了随时间变化的测定值，或者提取所述发生了随时间变化的测定值和在紧挨该发生了随时间变化的测定值之前进行采样得到的测定值；

存储部，其将提取出的多个所述参数的测定值同与所述测定值的采样时间有关的信息相关联地存储于存储器部，

绘制部，其基于存储器部中存储的与所述测定值的采样时间有关的信息，将多个所述参数的测定值绘制成曲线图；以及

显示部，其显示绘制出的所述曲线图。