[发明专利]显示方法和基板处理装置

说明书

本发明提供一种显示方法和基板处理装置。该显示方法用于显示表示与基板处理有关的信息的多个参数，包括以下工序：获取以预先设定的周期进行采样得到的多个所述参数的测定值、以及与所述测定值的采样时间有关的信息；基于与所述测定值的采样时间有关的信息，以进行了采样的顺序在多个所述参数的测定值中提取发生了随时间变化的测定值，或者提取所述发生了随时间变化的测定值和在紧挨该测定值之前进行采样得到的测定值；将提取出的多个所述参数的测定值同与所述测定值的采样时间有关的信息相关联地存储于存储器部；基于存储器部中存储的与所述测定值的采样时间有关的信息，将多个所述参数的测定值绘制成曲线图；以及显示绘制出的所述曲线图。

技术领域

本公开涉及一种显示方法和基板处理装置。

背景技术

例如，专利文献1提出了以下方案：将由数据收集部收集到的数据暂时保存到数据缓存中，以规定的周期从数据缓存中调出数据来描绘曲线图；以及根据CPU的使用率来设定此时的周期。

例如，专利文献2提出了以下方案：在将逻辑分析仪进行外部连接来使用的情况下，为了消除记录LSI内部的状态值时的存储器容量不足等，在连续输出同一状态值的情况下，对该同一状态值进行压缩处理，将同一数据重复次数计数值和值不同的数据个数计数值重叠地进行记录。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-224974号公报

专利文献2：日本特开2006-90727号公报

发明内容

发明要解决的问题

本公开提供一种能够减轻用于进行曲线图化的处理的负荷的技术。

用于解决问题的方案

根据本公开的一个方式，提供一种用于显示表示与基板处理有关的信息的多个参数的显示方法，该显示方法包括以下工序：获取以预先设定的周期进行采样得到的多个所述参数的测定值、以及与所述测定值的采样时间有关的信息；基于与所述测定值的采样时间有关的信息，按照进行了采样的顺序在多个所述参数的测定值中提取发生了随时间变化的测定值，或者提取所述发生了随时间变化的测定值和在紧挨该发生了随时间变化的测定值之前进行采样得到的测定值；将提取出的多个所述参数的测定值同与所述测定值的采样时间有关的信息相关联地存储于存储器部；基于存储器部中存储的与所述测定值的采样时间有关的信息，将多个所述参数的测定值绘制成曲线图；以及显示绘制出的所述曲线图。

发明的效果

根据一个方面，能够减轻用于进行曲线图化的处理的负荷。

附图说明

图1是示出一个实施方式所涉及的基板处理装置的一例的截面示意图。

图2是示出一个实施方式所涉及的控制部的功能结构的一例的图。

图3是示出一个实施方式所涉及的数据文件保存部的一例的图。

图4是示出一个实施方式所涉及的控制部的硬件结构的一例的图。

图5是示出一个实施方式所涉及的测定值的收集处理流程的一例的图。

图6是示出以往的测定值的曲线图化处理的流程的一例的图。

图7是用于说明以往的测定值的曲线图化处理和曲线图显示的图。

图8是示出一个实施方式所涉及的测定值的曲线图化处理的流程的一例的图。

图9是用于说明一个实施方式所涉及的测定值的曲线图化处理和曲线图显示的图。

附图标记说明