[发明专利]一种高纯碲化镓多晶合成生产装置

权利要求书

1.一种高纯碲化镓多晶合成生产装置，包括生产底座(1)，其特征在于：所述生产底座(1)上表面的四角处均固定连接有固定支架(2)，且四个固定支架(2)的相对面通过销轴分别与四个限位框架(3)相远离的一面固定连接，且四个限位框架(3)相对面的一端通过销轴与同一个石英帽(4)的外表面活动连接，所述石英帽(4)的下表面设置有密封圈(5)，所述石英帽(4)通过密封圈(5)与石英管(10)的顶端卡接，所述石英帽(4)的下表面与石英管(10)顶端的安装口(6)相连通，所述石英帽(4)的外表面套接有限位套(7)，所述限位套(7)的内壁开设有导向槽(8)，所述导向槽(8)内壁的上表面和下表面分别与滑轮(9)的顶端和底端铰接，所述滑轮(9)的外表面与石英帽(4)的外表面搭接，所述石英帽(4)的顶端与连接头(11)的底端相连通，所述连接头(11)内设置有输气管(13)和气压管(12)，所述石英管(10)的外表面分别与四个固定板(14)的相对面搭接，对应两个固定板(14)相远离的一面分别与两个滑杆(15)相对面的一端固定连接，且两个滑杆(15)分别滑动连接在两个滑套(16)内；

所述气压管(12)的左侧面与连接管(23)右端相连通，所述连接管(23)的左端与压力阀(24)的右侧面相连通，所述压力阀(24)的下表面与限位管(25)的顶端相连通，所述限位管(25)内滑动连接有限位杆(26)，所述压力阀(24)的背面通过连接块与石英帽(4)的内壁固定连接，所述限位杆(26)的底端与密封套(27)的上表面固定连接，所述密封套(27)的外表面与石英帽(4)的内壁搭接，所述密封套(27)的外表面固定连接有若干个滑块(28)，且若干个滑块(28)分别滑动连接在若干个滑槽(29)内，所述密封套(27)的形状与石英帽(4)和石英管(10)的内壁相适配。

2.根据权利要求1所述的一种高纯碲化镓多晶合成生产装置，其特征在于：所述滑套(16)的左端卡接有旋转装置(17)，所述旋转装置(17)的左端与螺纹杆(18)的右端固定连接，所述螺纹杆(18)的外表面螺纹连接有螺纹帽(19)，所述螺纹帽(19)的外表面与滑套(16)左侧的内壁固定连接，所述滑套(16)的外表面与安装架(20)的内壁固定连接，所述密封圈(5)设置为膨胀密封圈。

3.根据权利要求2所述的一种高纯碲化镓多晶合成生产装置，其特征在于：所述安装架(20)正面的一端和背面的一端分别与位于左侧前方和后方两个固定支架(2)的相对面固定连接，所述滑套(16)的上表面设置有泄气阀(21)，所述泄气阀(21)的底端与滑套(16)的上表面相连通。

4.根据权利要求1所述的一种高纯碲化镓多晶合成生产装置，其特征在于：所述滑槽(29)开设在石英帽(4)的内壁，所述滑槽(29)的横截面和滑块(28)的形状均设置为T字形，所述滑块(28)的上表面与弹簧(30)的底端固定连接，所述弹簧(30)的另一端与滑槽(29)内壁的上表面固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种高纯碲化镓多晶合成生产装置，其特征在于：所述滑块(28)设置为磁性滑块，对应两个固定支架(2)和安装架(20)的相对面均固定连接有加固板(22)，所述加固板(22)的数量为八个。

6.根据权利要求1所述的一种高纯碲化镓多晶合成生产装置，其特征在于：所述滑杆(15)的正面和背面均固定连接有加固片(31)，且两个加固片(31)的右侧面均与限位套(7)的左侧面固定连接，所述输气管(13)和气压管(12)的顶端均与控制面板(32)的下表面相连通。