[发明专利]一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构

权利要求书

1.一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构，包括底座（1）、容器筒（2）和旋转电机（3），其特征在于：所述底座（1）的凹陷处底壁安装有容器筒（2），所述底座（1）的底壁安装有旋转电机（3），且旋转电机（3）的顶部与容器筒（2）的底部贴合，所述容器筒（2）的顶部安装有两组双向电机（4），所述底座（1）的顶部安装有送气箱（5），且送气箱（5）位于容器筒（2）的一侧，所述送气箱（5）的正面安装有输送结构（6），且输送结构（6）的尾端延伸进入容器筒（2）的内部，所述送气箱（5）的顶部安装有水泵（7），所述水泵（7）的输出端安装有软管，且软管的尾端延伸进入输送结构（6）的内部，所述容器筒（2）的顶壁安装有多组嵌合套筒（8）和一组凹形橡胶圈（9），且多组嵌合套筒（8）分别环绕在凹形橡胶圈（9）的外侧。

2.根据权利要求1所述的一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构，其特征在于：所述送气箱（5）的背面安装有送气孔板（501），送气孔板（501）的正面安装有送气风机（502），送气风机（502）位于送气箱（5）的内部，送气箱（5）的顶部设置有槽口，槽口的内部安装有拉板（503），拉板（503）的底部安装有拦尘板（504），且拦尘板（504）位于送气风机（502）的前方，送气箱（5）的正面设置有出气口（505）。

3.根据权利要求1所述的一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构，其特征在于：所述输送结构（6）由连接管（601）、输送管（602）、内腔层（603）和风力传感器（604）组成，送气箱（5）的正面安装由连接管（601），出气口（505）位于连接管（601）的内部，连接管（601）的正面安装有输送管（602），输送管（602）的尾端延伸进入容器筒（2）的内部，输送管（602）与连接管（601）的内壁均设置有内腔层（603），输送管（602）的顶部安装有风力传感器（604），且风力传感器（604）的底部延伸进入输送管（602）的内部。

4.根据权利要求1所述的一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构，其特征在于：所述凹形橡胶圈（9）的内部安装送气筒（901），且送气筒（901）的底部延伸处凹形橡胶圈（9）的内部，送气筒（901）的底部均匀设置有多组槽孔（902）。

5.根据权利要求1所述的一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构，其特征在于：所述嵌合套筒（8）的两侧外壁均设置有通槽（801），嵌合套筒（8）的底部安装有活动筒（802），活动筒（802）的顶部安装有两组弹性片（803），两组弹性片（803）均位于嵌合套筒（8）的内部，弹性片（803）的顶部安装有卡钩（804），且卡钩（804）的凹陷处顶壁与通槽（801）的底壁贴合，嵌合套筒（8）的一侧外壁安装有限制板（805），且限制板（805）的顶部与送气筒（901）的底部贴合。

6.根据权利要求1所述的一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构，其特征在于：所述双向电机（4）的输出端安装有轴杆，轴杆的底部安装有螺纹杆（401），螺纹杆（401）的外表面通过螺纹嵌合安装有环形移动板（403），环形移动板（403）的外壁安装有清扫环（404），清扫环（404）的外壁与容器筒（2）的内壁贴合，容器筒（2）的顶壁安装有两组丝杆（402），且丝杆（402）的底部贯穿环形移动板（403）的内部，丝杆（402）和螺纹杆（401）的底部均安装有限位板（405），容器筒（2）的底壁均匀安装有四组支撑柱，支撑柱的顶部与限位板（405）的底部贴合。

7.根据权利要求1所述的一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构，其特征在于：所述底座（1）的底壁安装有两组分隔板（103），且两组分隔板（103）分别将底座（1）的内部空间从左至右分别划分为空间一、空间而和空间三，底座（1）的一侧内壁安装有L型板（101），L型板（101）的一侧外壁与其中一组分隔板（103）的外壁贴合，底座（1）的另一侧内壁安装有支撑板（102），支撑板（102）靠近L型板（101）的一侧与另外一组分隔板（103）的外壁贴合，且支撑板（102）与L型板（101）的顶部均与容器筒（2）的底部贴合。