[发明专利]一种可灵活调节水平度的MEMS探针卡

权利要求书

1.一种可灵活调节水平度的MEMS探针卡，其特征在于，包括安装支架、PCB板、MEMS探针卡组件、内水平调节套筒、内水平调节固定盖、外水平调节套筒、第一螺栓以及第二螺栓，所述PCB板通过螺钉可拆卸的固定于所述安装支架的下端壁上，所述安装支架的内部设有一固定环，所述固定环的圆心处设有一安装板，所述固定环的内周壁沿圆周方向凸设有多个沿径向方向延伸的安装臂，且所述安装臂均分别与所述安装板固定连接，所述固定环的上端壁沿圆周方向凹设有多个第一容置槽，所述安装臂的中间的上端壁和安装板的上端壁分别凹设有一第二容置槽，所述第一容置槽和第二容置槽的底部分别凹设有一沿竖直方向延伸的通孔，所述内水平调节套筒和外水平调节套筒分别可拆卸的嵌设于所述通孔内设置，所述第一螺栓和第二螺栓分别可拆卸的穿设于所述内水平调节套筒和外水平调节套筒内设置，所述内水平调节套筒和外水平调节套筒的上端部的外周壁分别凸设有一限位凸缘，所述限位凸缘均分别与所述通孔的上端壁抵接设置，所述MEMS探针卡组件的上端壁沿圆周方向凹设有多个第三容置槽，所述内水平调节固定盖分别可拆卸的嵌设于所述第三容置槽内设置，且所述内水平调节固定盖的下端壁分别通过环氧胶粘剂与所述MEMS探针卡组件粘接固定连接，所述内水平调节固定盖的上端部分别凹设有一第一螺纹孔，所述第一螺栓的下端部分别旋于所述第一螺纹孔内设置，所述MEMS探针卡组件的上端壁的外侧沿圆周方向凹设有第二螺纹孔，所述第二螺栓的下端部分别旋于所述第二螺纹孔内设置，所述内水平调节套筒和外水平调节套筒的下端壁分别与所述内水平调节固定盖和MEMS探针卡组件的上端壁抵接设置，还包括压板，所述压板分别可拆卸的嵌设于所述第一容置槽和第二容置槽内设置，且所述内水平调节套筒和外水平调节套筒的上端部的外周壁凸设的限位凸缘的上端壁分别与压板的下端壁抵接设置。

2.根据权利要求1所述的可灵活调节水平度的MEMS探针卡，其特征在于，还包括第三螺栓，所述压板的两端分别凹设有一螺钉孔，所述第一容置槽和第二容置槽的两端分别凹设有一第三螺纹孔，所述第三螺栓分别穿设于所述螺钉孔，并旋于所述第三螺纹孔内设置。

3.根据权利要求1所述的可灵活调节水平度的MEMS探针卡，其特征在于，所述安装支架的下端壁凸设有多个定位销，所述PCB板凹设有多个与所述定位销一一对应的定位孔，所述定位销分别可拆地嵌设于所述定位孔内设置。

4.根据权利要求1所述的可灵活调节水平度的MEMS探针卡，其特征在于，所述内水平调节套筒和外水平调节套筒均分别设有多个长度规格，且两相邻的所述内水平调节套筒和外水平调节套筒的长度规格均相差30微米。