[发明专利]金属工件表面光泽度的控制方法及金属薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 202110790618.2 申请日: 2021-07-13
公开(公告)号: CN113529087B 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 邬登辉 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: G01N21/57 分类号: G01N21/57;C23F3/00;G01R27/02
代理公司: 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 代理人: 韩闪闪
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 金属 工件 表面 光泽 控制 方法 薄膜 制备
【权利要求书】:

1.一种金属工件表面光泽度的控制方法,其特征在于,所述控制方法包括:

提供金属工件;

检测所述金属工件的表面光泽度,得到第一检测值;

当所述第一检测值小于等于第一阈值时,采用第一处理工艺对所述金属工件进行处理,使所述金属工件的表面光泽度不小于第二阈值;

当所述第一检测值大于第一阈值且小于第二阈值时,采用第二处理工艺对所述金属工件进行处理,使所述金属工件的表面光泽度不小于第二阈值;

当所述第一检测值大于等于第二阈值时,对所述金属工件不进行处理,使所述金属工件的表面光泽度不小于第二阈值;

其中,所述采用第一处理工艺对所述金属工件进行处理的方法包括:

将所述金属工件先置于第一酸液中处理15~25min,取出后置于第一碱液中处理20~40min,然后取出置于第二酸液中处理5~15s;

检测经过处理的金属工件的表面光泽度,得到第二检测值;

如果第二检测值小于第二阈值,将经过处理的金属工件再置于所述第二酸液中处理5~15s,然后检测新处理的金属工件的表面光泽度,将新得到的表面光泽度数值取代之前的第二检测值,作为第二检测值,直到第二检测值不小于第二阈值;

所述采用第二处理工艺对所述金属工件进行处理的方法包括:

将所述金属工件先置于第二碱液中处理40~60min,取出后置于第三酸液中处理5~15s;

检测经过处理的金属工件的表面光泽度,得到第三检测值;

如果第三检测值小于第二阈值,将经过处理的金属工件再置于所述第三酸液中处理5~15s,然后检测新处理的金属工件的表面光泽度,将新得到的表面光泽度数值取代之前的第三检测值,作为第三检测值,直到第三检测值不小于第二阈值;

所述第一阈值为0~200GU;所述第二阈值为150~500GU;且所述第一阈值小于所述第二阈值。

2.根据权利要求1所述的控制方法,其特征在于,所述检测所述金属工件的表面光泽度,得到第一检测值,包括:

对所述金属工件的多个表面区域进行光泽度检测,得到多个光泽度检测值,根据所述多个光泽度检测值得到光泽度平均检测值,将所述光泽度平均检测值作为所述第一检测值。

3.根据权利要求1所述的控制方法,其特征在于,所述检测所述金属工件的表面光泽度,得到第一检测值,包括:

对所述金属工件的多个表面区域进行光泽度检测,得到多个光泽度检测值,通过比较多个光泽度检测值的大小得到光泽度最小检测值,将所述光泽度最小检测值作为所述第一检测值。

4.根据权利要求1所述的控制方法,其特征在于,所述第一酸液为盐酸、硝酸、醋酸中的一种或多种;所述第一碱液为氢氧化钠溶液;所述第二酸液为盐酸、硝酸、醋酸中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的控制方法,其特征在于,所述第二碱液为碳酸钠溶液;所述第三酸液为盐酸、硝酸、醋酸中的一种或多种。

6.根据权利要求1所述的控制方法,其特征在于,在使所述金属工件的表面光泽度不小于第二阈值之后,还包括:

检测所述金属工件表面不同区域的光泽度,得到多个第四检测值,任意两个所述第四检测值的差值小于20GU。

7.一种金属工件,采用权利要求1~6任一所述的控制方法形成,其特征在于,所述金属工件的表面光泽度不小于第二阈值。

8.根据权利要求7所述的金属工件,其特征在于,所述第二阈值为150~500GU。

9.根据权利要求7所述的金属工件,其特征在于,所述金属工件中,任意两个表面区域的光泽度的差值小于20GU。

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