[发明专利]晶圆校准相机及具有其的探针台

权利要求书

1.一种晶圆校准相机，安装于探针台，用以获取晶圆的图像信息，其特征在于，所述晶圆校准相机包括壳体、透镜组件、光源扩散组件以及光源组件；所述壳体内具有容置槽，所述壳体上开设有与所述容置槽连通的透光孔，所述透镜组件、所述光源扩散组件及所述光源组件分别安装于所述容置槽内，且所述透镜组件及所述光源扩散组件设于所述光源组件的光路上；

当所述光源组件开启时，所述光源组件发出的光束能够经所述透镜组件及所述光源扩散组件传输并从所述透光孔射出至所述晶圆，以获取所述晶圆的图像信息；

所述透镜组件包括第一分光镜及会聚透镜，所述晶圆校准相机还包括物镜，所述物镜安装于所述容置槽内，所述第一分光镜及所述会聚透镜设于所述光源组件的一侧；所述光源扩散组件包括光源发射单元及第二分光镜，所述光源发射单元及所述第二分光镜均安装于所述容置槽内，且所述光源发射单元及所述第二分光镜均位于所述物镜的一侧；

所述光源组件发出的光束能够依次经所述第一分光镜、所述会聚透镜、所述第二分光镜、所述物镜传输并从所述透光孔射出，以满足所述晶圆的高倍成像条件；所述光源发射单元发出的光束能够依次经所述第二分光镜、所述物镜传输并从所述透光孔射出，以满足所述晶圆的低倍成像条件；

或者，所述光源扩散组件包括发散透镜，所述发散透镜设于所述光源组件靠近所述第一分光镜的一侧，且位于所述光源组件与所述第一分光镜之间；所述光源组件发出的光束能够经所述发散透镜传输并从所述透光孔射出，以满足所述晶圆的低倍成像条件；所述光源组件发出的光束能够经所述会聚透镜传导至所述物镜，并从所述透光孔射出，以满足所述晶圆的高倍成像条件；

所述晶圆校准相机还包括图像传感器，所述图像传感器安装于所述容置槽内，并位于所述第一分光镜远离所述会聚透镜的一侧，用以接收并处理所获得的所述晶圆的图像信息。

2.根据权利要求1所述的晶圆校准相机，其特征在于，所述会聚透镜的中心轴与所述物镜的中心轴相互垂直，所述第二分光镜位于所述会聚透镜与所述物镜之间，所述第二分光镜的中心轴分别与所述会聚透镜的中心轴、所述物镜的中心轴呈角度设置，以使从所述会聚透镜传输出的光束能够经所述第二分光镜转折至所述物镜。

3.根据权利要求1所述的晶圆校准相机，其特征在于，所述光源扩散组件包括所述发散透镜时，所述物镜设于所述会聚透镜远离所述第一分光镜的一侧，且所述会聚透镜的中心轴与所述物镜的中心轴位于同一直线上，以使经所述会聚透镜传输出的光束能够直接传输至所述物镜。

4.根据权利要求1所述的晶圆校准相机，其特征在于，所述光源扩散组件包括所述发散透镜时，所述会聚透镜的中心轴与所述物镜的中心轴相互垂直，所述透镜组件还包括全反射镜，所述全反射镜位于所述会聚透镜与所述物镜之间，且所述全反射镜的中心轴分别与所述会聚透镜的中心轴、所述物镜的中心轴呈角度设置，以使从所述会聚透镜传输出的光束能够经所述全反射镜转折至所述物镜。

5.根据权利要求1所述的晶圆校准相机，其特征在于，所述晶圆校准相机还包括反射镜，所述反射镜安装于所述容置槽内并与所述透光孔对应设置，所述反射镜用以接收并反射经所述物镜传输的光束，并使得所述光束从所述透光孔射出至所述晶圆。

6.一种探针台，其特征在于，包括载片台、针卡平台以及如权利要求1-5任意一项所述的晶圆校准相机，所述晶圆置于所述载片台上，所述晶圆校准相机安装于所述针卡平台，用以采集所述晶圆的图像信息。