[发明专利]TFT背板与LED显示面板及其制作方法在审
申请号: | 202110794394.2 | 申请日: | 2021-07-14 |
公开(公告)号: | CN113571532A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 罗传宝 | 申请(专利权)人: | 惠州华星光电显示有限公司;深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/15 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 吕姝娟 |
地址: | 516000 广东省惠州市仲*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | tft 背板 led 显示 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种TFT背板,其特征在于,包括显示晶体管区、LED结合区以及压感晶体管区;
所述显示晶体管区内设有显示晶体管,所述显示晶体管包括第一有源层、第一栅极、第一源极、第一漏极;
所述LED结合区的顶面设有第一导电层,所述第一导电层与所述第一漏极电性连接;
所述压感晶体管区内设有压感晶体管,所述压感晶体管包括依次层叠设置的第二有源层、栅极绝缘层、第二栅极、第一压感材料层、第二导电层。
2.根据权利要求1所述的TFT背板,所述第一压感材料层的材料包括聚偏二氟乙烯。
3.根据权利要求2所述的TFT背板,其特征在于,所述第一压感材料层的材料中掺杂有金属元素,所述金属元素包括钛和锆中的至少一种,所述金属元素在所述第一压感材料层的材料中的质量占比为5wt%~10wt%。
4.根据权利要求1所述的TFT背板,其特征在于,所述显示晶体管区的顶面与所述压感晶体管区的顶面均低于所述LED结合区的顶面。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的TFT背板,其特征在于,所述压感晶体管区的顶面高于所述显示晶体管区的顶面,或者,所述压感晶体管区的顶面与所述显示晶体管区的顶面平齐。
6.根据权利要求1所述的TFT背板,其特征在于,所述LED结合区的顶面还设有第三导电层,所述第一导电层与所述第三导电层间隔设置。
7.根据权利要求6所述的TFT背板,其特征在于,所述第一导电层的下方设有第二压感材料层,所述第三导电层的下方设有第三压感材料层,所述第二压感材料层的材料、所述第三压感材料层的材料以及所述第一压感材料层的材料相同。
8.根据权利要求1所述的TFT背板,其特征在于,所述压感晶体管还包括第三栅极与第一绝缘层,所述第一绝缘层设于所述第二有源层背离所述栅极绝缘层的一侧,所述第三栅极设于所述第一绝缘层背离所述第二有源层的一侧。
9.一种LED显示面板,其特征在于,包括TFT背板与LED器件,所述TFT背板为如权利要求1-8中任一项所述的TFT背板;所述LED器件与所述第一导电层电性连接。
10.一种LED显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
提供TFT背板,所述TFT背板为如权利要求1-8中任一项所述的TFT背板;
提供各向异性导电胶,将所述各向异性导电胶贴合于所述TFT背板上设有所述第一导电层的一侧;
提供LED器件,将所述LED器件对应所述第一导电层贴合于所述各向异性导电胶上;
提供施压设备,采用所述施压设备对所述TFT背板上设有所述LED器件和所述各向异性导电胶的一侧施加压力,使所述LED器件和所述第一导电层之间电性连接;
所述施压设备包括施压模块与控制模块,所述施压模块用于对所述TFT背板施加压力,所述控制模块与所述施压模块连接,以控制所述施压模块所施加的压力大小,所述控制模块还与所述TFT背板中的所述压感晶体管连接,以接收所述压感晶体管反馈的压力大小,并根据所述压感晶体管反馈的压力大小来调节所述施压模块对所述TFT背板所施加的压力。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的