[发明专利]一种高效金刚线硅片切割液在审
| 申请号： | 202110800196.2 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113462458A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 郭熹;刘治洲;王波 | 申请（专利权）人： | 江苏捷捷半导体新材料有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10N30/04;C10N30/06;C10N30/18;C10N30/16 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 卢海洋 |
| 地址： | 226200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效 金刚 硅片 切割 | ||
1.一种高效金刚线硅片切割液，其特征在于，包括下列质量份数的组分表面活性剂20-50份、消泡剂0.5-15份、渗透剂10-20份、增溶剂10-30份、余量为去离子水，所述表面活性剂、渗透剂、消泡剂同为聚醚类。
2.根据权利要求1所述的一种高效金刚线硅片切割液，其特征在于：所述表面活性剂为一元醇或多元醇聚醚，包括烷基酚聚氧乙烯聚氧丙烯醚、丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、烯丙基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、六碳至十二碳脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚中的一种或多种复配物。
3.根据权利要求1所述的一种高效金刚线硅片切割液，其特征在于：所述消泡剂为炔二醇或炔二醇聚醚或双子型有机硅聚醚或聚醚类消泡剂中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述的一种高效金刚线硅片切割液，其特征在于：所述渗透剂为异构醇聚氧乙烯醚或异构醇聚氧乙烯醚磷酸酯或两者复配物。
5.根据权利要求1所述的一种高效金刚线硅片切割液，其特征在于：所述增溶剂为二元醇或多元醇或其复配物。
6.根据权利要求1所述的一种高效金刚线硅片切割液，其特征在于：所述硅片切割液还包括防锈剂，以所述硅片切割液的总质量为100份计，所述防锈剂的添加量为0.1-5份。
7.根据权利要求1所述的一种高效金刚线硅片切割液，其特征在于：所述硅片切割液还包括杀菌剂，以所述硅片切割液的总质量为100份计，所述杀菌剂的添加量0.01-3份。
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