[发明专利]一种高效金刚线硅片切割液在审

专利信息
申请号: 202110800196.2 申请日: 2021-07-15
公开(公告)号: CN113462458A 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 郭熹;刘治洲;王波 申请(专利权)人: 江苏捷捷半导体新材料有限公司
主分类号: C10M173/02 分类号: C10M173/02;C10N30/04;C10N30/06;C10N30/18;C10N30/16
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 卢海洋
地址: 226200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 高效 金刚 硅片 切割
【说明书】:

发明公开一种高效金刚线硅片切割液,其特征在于,包括下列质量份数的组分表面活性剂20‑50份、消泡剂0.5‑15份、渗透剂10‑20份、增溶剂10‑30份、余量为去离子水,表面活性剂、渗透剂、消泡剂同为聚醚类。该硅片切割液具有优异的渗透性和润滑性,分散性好,清洗能力强大,同时,该切割液使用添加量较现有产品降低50%,能有效降低使用成本和废水处理难度。

技术领域

本发明涉及金刚石线切割技术领域,具体是一种高效金刚线硅片切割液。

背景技术

随着光伏产业的高速发展,太阳能发电成本已大幅下降。硅片是光伏产业的基础材料,而切片加工是决定硅片品质的主要工序。切片时产生的硅片应力、表层及亚表层损伤及崩边等缺陷会严重影响光伏电池的转换效率,而切割液的性能是影响硅片切割效率及质量的关键因素之一。

目前,金刚线硅片切割技术经过多年的发展,技术进步显著——线径由100微米降至40微米。更细的金刚线直径降低了切片加工中硅料的损耗,节约了成本。但直径更细的金刚线在切割硅片时所形成的加工缝隙越来越小,切屑粉末也越来越细,因此对切割液的性能要求也越来越高。

与旧有的砂浆磨料加工不同,金刚线切割液主要成分是去离子水,切割完毕后无回收价值,一般由切片加工企业经生物、化学等手段进行无害化处理后排放。随着环保要求越来越高,废水排放成本和难度越来越大,成为制约企业扩产的重要因素之一。因此,减少切割液用量和有机物含量,是提高切割液使用效率、降低使用和处理成本的重要途径。

金刚线切割液应具有以下作用:(1)润滑作用。切割液应及时渗入线网与硅片;线网与碎屑之间,形成一层润滑保护膜,减小切割阻力,以降低金刚线导致的损伤、线痕和隐裂;(2)冷却作用。切割产生的高热量除部分被切割液带走外,余下的热量大部分被晶体硅吸收,高温会导致局部硅片变形,因此,切割液需具备良好的传热冷却性能;(3)分散作用。切割形成的硅粉切屑需要及时分散,避免聚集成团,造成硅片划伤甚至线网断线;(4)清洗作用。切割过程产生的大量碎屑和硅粉,容易形成粘附团聚,因此要求切割液可以包裹碎屑,使其易于脱落清洗;(5)切割液还应具有防锈、抑菌的能力,避免设备在长期使用过程中因腐蚀造成生产中断。

虽然在对比文件一种金刚线冷却切割液中,在其组分中也运用到了聚醚,但是表面活性剂、渗透剂、消泡剂的组分并不同时为聚醚类,其在水溶液中的互溶共聚能力较差,渗透性、润滑性和消泡性能都比较差,并且需要添加防锈剂,添加物质的种类较多,成本较高。

发明内容

为了有效提高切割液在使用时候的性能,本发明公开了一种高效金刚线硅片切割液,该硅片切割液具有优异的渗透性和润滑性,分散性好,清洗能力强大,同时,该切割液使用添加量较现有产品降低50%,能有效降低使用成本和废水处理难度。

本发明的技术方案为:一种高效金刚线硅片切割液,其特征在于,包括下列质量份数的组分表面活性剂20-50份、消泡剂0.5-15份、渗透剂10-20份、增溶剂10-30份、余量为去离子水,表面活性剂、渗透剂、消泡剂同为聚醚类。

进一步地,表面活性剂为一元醇或多元醇聚醚,包括烷基酚聚氧乙烯聚氧丙烯醚、丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、烯丙基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、六碳至十二碳脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚中的一种或多种复配物,其中六碳至十二碳指的是脂肪醇链中的碳原子数,一元醇或多元醇聚醚具有优良的润滑性、渗透性,同时兼具分散、冷却、清洗的优势,亦可与其他渗透剂、消泡剂复配,进一步提高渗透能力,抑制泡沫生成,选用复配的脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚表面活性剂,与异构醇聚氧乙烯醚渗透剂共同作用,能够协同增效,显著提高硅片切割液的润滑性及渗透力,使得切割液可渗入40微米直径金刚线形成的狭小切缝中,并在金刚线、硅片、硅粉切屑之间形成一层润滑膜,减小了切割损伤、应力和隐裂,充分发挥润滑、冷却效果。

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