[发明专利]缺陷检查装置

说明书

实施方式提供一种能够提高被检查物的缺陷的检查精度的缺陷检查装置。实施方式的缺陷检查装置包括超声波探伤探头、图像获取部、计算部以及校正部。超声波探伤探头向被检查物/模拟被检查物照射超声波，从而获取被检查物/模拟被检查物的超声波图像。图像获取部向模拟被检查物的第一区域或被检查物的第二区域照射红外线，从而获取包含第一区域/第二区域的红外图像。计算部计算用于对超声波图像中及红外图像中的第一区域的坐标相对于第一区域的设计坐标的偏离进行校正的第一校正值，或者，计算用于对红外图像中的第二区域的坐标相对于第二区域的设计坐标的偏离进行校正的第二校正值。校正部对被检查物的超声波图像进行基于所计算出的第一校正值/第二校正值而实施的坐标校正。

相关申请

本申请享受以2020-153258号日本发明专利申请(申请日：2020年9月11日)为基础申请的优先权。本申请通过参照该基础申请而包含基础申请的全部内容。

技术领域

本实施方式涉及缺陷检查装置。

背景技术

人们目前基于用从超声波探伤探头照射的超声波对晶圆进行扫描而得到的超声波图像，检查晶圆的空洞缺陷。但是，因超声波图像的坐标从晶圆的设计坐标偏离，因此难以提高检查精度。

发明内容

本发明要解决的课题为，提供一种缺陷检查装置，其能够提高被检查物的缺陷的检查精度。

实施方式所涉及的缺陷检查装置具备超声波探伤探头、图像获取部、计算部以及校正部。超声波探伤探头向被进行缺陷检查的被检查物或者对被检查物进行了模拟的模拟被检查物照射超声波，接收被检查物或模拟被检查物反射的超声波并转换为电信号，从而获取被检查物或模拟被检查物的超声波图像。图像获取部向模拟被检查物的第一区域或被检查物的第二区域照射红外线，接收第一区域或第二区域反射或透射的红外线并转换为电信号，从而获取包含第一区域或第二区域的红外图像。计算部计算用于对超声波图像中以及红外图像中的第一区域的坐标相对于第一区域的设计坐标的偏离进行校正的第一校正值，或者，计算用于对红外图像中的第二区域的坐标相对于第二区域的设计坐标的偏离进行校正的第二校正值。校正部针对被检查物的超声波图像进行基于所计算出的第一校正值或第二校正值而实施的坐标校正。

附图说明

图1是示出第一实施方式所涉及的缺陷检查装置的图。

图2是示出第一实施方式所涉及的缺陷检查装置的动作例的流程图。

图3是示出第一实施方式所涉及的缺陷检查装置的动作例的图。

图4是接着图3的、示出第一实施方式所涉及的缺陷检查装置的动作例的图。

图5是接着图4的、示出第一实施方式所涉及的缺陷检查装置的动作例的图。

图6是接着图5的、示出第一实施方式所涉及的缺陷检查装置的动作例的图。

图7A是示出由比较例所涉及的缺陷检查装置检测出的共通缺陷的图。

图7B是示出由第一实施方式所涉及的缺陷检查装置检测出的共通缺陷的图。

图8是示出第二实施方式所涉及的缺陷检查装置的图。

图9是示出第三实施方式所涉及的缺陷检查装置的动作例的流程图。

图10是示出第三实施方式所涉及的缺陷检查装置的动作例的图。

图11是接着图10的、示出第三实施方式所涉及的缺陷检查装置的动作例的图。

图12是接着图11的、示出第三实施方式所涉及的缺陷检查装置的动作例的图。

图13是示出第四实施方式所涉及的缺陷检查装置的动作例的流程图。

具体实施方式

以下结合附图说明本发明的实施方式。在图1至图13中，对相同或类似的构成赋予相同的标记，省略重复的说明。

(第一实施方式)