[发明专利]含有探针卡的测试系统、方法

权利要求书

1.一种含有探针卡的测试系统，其特征在于，所述系统包括：探针卡、光源系统、被测TOF芯片晶圆、中控单元、测试头；

所述探针卡上设置有若干镂空区域，所述镂空区域用于光信号穿过；

所述光源系统设置在所述探针卡上方，所述光源系统包括顶部直流光源、匀光板、半透半反镜、底部脉冲光源；所述顶部直流光源设置在所述匀光板顶部，用于产生直流光信号；所述匀光板设置有若干层，且若干层所述匀光板平行设置在所述半透半反镜上方，所述直流光信号经过所述半透半反镜穿过所述镂空区域，垂直照射在所述被测TOF芯片晶圆表面；所述底部脉冲光源设置在所述探针卡一侧的顶部，用于向上产生脉冲光信号；所述脉冲光信号经过所述半透半反镜反射穿过所述镂空区域，倾斜照射在所述被测TOF芯片晶圆表面；

所述探针卡上设置有若干接点，每个所述接点分别与所述被测TOF芯片晶圆上的不同位置相连；所述探针卡与所述中控单元连接，且所述中控单元与所述测试头连接，所述中控单元用于通过所述探针卡连接所述测试头和所述被测TOF芯片晶圆，并控制所述测试头工作，得到测试结果。

2.根据权利要求1所述的含有探针卡的测试系统，其特征在于，所述匀光板用于将所述直流光信号进行均匀化处理，得到均匀光；所述均匀光通过所述半透半反镜进行光信号衰减处理，得到目标直流光信号；所述目标直流光信号经过所述半透半反镜穿过所述镂空区域，垂直照射在所述被测TOF芯片晶圆表面。

3.根据权利要求2所述的含有探针卡的测试系统，其特征在于，所述顶部直流光源为集成式850/940直流光源。

4.根据权利要求1所述的含有探针卡的测试系统，其特征在于，通过控制所述半透半反镜与所述探针卡之间的距离，控制所述脉冲光信号的覆盖范围以及信号衰减，得到目标脉冲光信号；所述目标脉冲光信号经过所述半透半反镜反射穿过所述镂空区域，倾斜照射在所述被测TOF芯片晶圆表面。

5.根据权利要求4所述的含有探针卡的测试系统，其特征在于，所述底部脉冲光源为集成式850/940脉冲光源。

6.根据权利要求1所述的含有探针卡的测试系统，其特征在于，所述探针卡上面安装有驱动板卡；所述驱动板卡上设置有若干驱动器，且所述驱动器之间安装有光隔离器。

7.根据权利要求1所述的含有探针卡的测试系统，其特征在于，若干个所述镂空区域的尺寸一致。

8.根据权利要求1所述的含有探针卡的测试系统，其特征在于，所述被测TOF芯片晶圆放置在所述镂空区域的中心位置处。

9.根据权利要求1所述的含有探针卡的测试系统，其特征在于，所述顶部直流光源、所述底部脉冲光源外侧均设置有漫射体；或，所述顶部直流光源、所述底部脉冲光源的内部均设置有漫射体。

10.一种含有探针卡的测试方法，其特征在于，所述方法包括：

在探针卡上设置若干镂空区域，所述镂空区域用于光信号穿过；

在被测TOF芯片晶圆上方安装探针卡，依次在所述探针卡上部设置底部脉冲光源、半透半反镜、匀光板、顶部直流光源；所述顶部直流光源产生直流光信号，所述直流光信号穿过所述匀光板，并经过所述半透半反镜穿过所述镂空区域，垂直照射在所述被测TOF芯片晶圆表面；

所述底部脉冲光源设置在所述探针卡一侧的顶部，用于向上产生脉冲光信号；所述脉冲光信号经过所述半透半反镜反射穿过所述镂空区域，倾斜照射在所述被测TOF芯片晶圆表面；

在所述探针卡上设置若干接点，每个所述接点分别与所述被测TOF芯片晶圆上的不同位置相连；将所述探针卡与中控单元连接，且所述中控单元与测试头连接，所述中控单元用于通过所述探针卡连接所述测试头和所述被测TOF芯片晶圆，并控制所述测试头工作，得到测试结果。