[发明专利]一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统在审
申请号: | 202110811431.6 | 申请日: | 2021-07-19 |
公开(公告)号: | CN113481606A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 李文英;杨辉;薛武鹏;程涛 | 申请(专利权)人: | 陕西欣宇材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/08;G01B21/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 设备 自动 检测 控制系统 | ||
1.一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统,包括底座(1),所述底座(1)的上端设置有夹持机构(2),所述夹持机构(2)的上端设置有等径机构(3);
所述夹持机构(2)包括固定块(21),所述固定块(21)固定连接在底座(1)的上表面中心处,所述固定块(21)的表面上通过轴承(22)转动连接有转杆(23),所述转杆(23)的两端表面上均开设有螺纹(24),两个所述螺纹(24)分别螺纹连接在两个螺孔(25)内部,两个所述螺孔(25)分别开设在两个弧板(26)的表面上,两个所述弧板(26)的下端与底座(1)接触,所述转杆(23)的一端固定连接有转钮(27),所述固定块(21)的上端固定连接有支撑板(28),两个所述弧板(26)的内部卡接有生长管(29);
所述等径机构(3)包括圆杆(31),所述圆杆(31)固定连接在支撑板(28)的中心处,所述圆杆(31)的上端插接在圆孔(32)内部,所述圆孔(32)开设在检测环(33)的内部,所述检测环(33)的外圆侧壁上开设有多个插槽(34),多个所述插槽(34)的内部均固定连接有动态压力感应器(35),多个所述动态压力感应器(35)的另一端均固定连接有插块(36)。
2.根据权利要求1所述的一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统,其特征在于:所述所述固定块(21)固定连接在支撑板(28)的下表面中心处。
3.根据权利要求1所述的一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统,其特征在于:两个所述弧板(26)对称设置在固定块(21)的两端。
4.根据权利要求1所述的一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统,其特征在于:所述支撑板(28)与两个弧板(26)交错的两端与生长管(29)的下表面接触。
5.根据权利要求1所述的一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统,其特征在于:所述插块(36)靠近生长管(29)的一端下表面上开设有弧面。
6.根据权利要求1所述的一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统,其特征在于:所述所述插块(36)靠近生长管(29)的一端与生长管(29)的内壁相匹配。
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