[发明专利]一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统在审
申请号: | 202110811431.6 | 申请日: | 2021-07-19 |
公开(公告)号: | CN113481606A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 李文英;杨辉;薛武鹏;程涛 | 申请(专利权)人: | 陕西欣宇材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/08;G01B21/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 设备 自动 检测 控制系统 | ||
本发明公开了一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统,包括底座,底座的上端设置有夹持机构,夹持机构的上端设置有等径机构,夹持机构包括固定块,固定块固定连接在底座的上表面中心处,固定块的表面上通过轴承转动连接有转杆,本发明的有益效果是:将检测环套接在圆杆的表面上,然后缓缓放开检测环使其自动下落,当检测环下落时插块与生长管的内壁接触,当生长管内壁的内径发生变化时,进而会导致生长管内壁对插块的压力发生变化,最终压力反馈到动态压力感应器,进而通过动态压力感应器的读数可得出生长管内径是否等径,通过对生长管的内径进行检测,防止生长管内径存在变化导致对锗晶体的生长造成影响。
技术领域
本发明涉及锗晶体生长技术领域,具体为一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统。
背景技术
锗晶体指的是锗元素形成的晶体,有整齐规则的几何外形,有固定的熔点,有各向异性的特点,在半导体、航空航天测控、核物理探测、光纤通讯、红外光学、太阳能电池、化学催化剂、生物医学等领域都有广泛而重要的应用,是一种重要的战略资源。
现有的锗晶体在生产使需要通过特定的生长设备进行生产,在生产时需要用到专用的生长管用于引导锗晶体成形,通过生长管内壁对生长的锗晶体会进行控制吗,防止锗晶体变形,但是当生长管的内径存在变化时就会导致生产的锗晶体存在瑕疵。
发明内容
本发明的目的在于提供一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统,以解决上述背景技术中提出的锗晶体在生产使需要通过特定的生长设备进行生产,在生产时需要用到专用的生长管用于引导锗晶体成形,通过生长管内壁对生长的锗晶体会进行控制吗,防止锗晶体变形,但是当生长管的内径存在变化时就会导致生产的锗晶体存在瑕疵的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统,包括底座,所述底座的上端设置有夹持机构,所述夹持机构的上端设置有等径机构;
所述夹持机构包括固定块,所述固定块固定连接在底座的上表面中心处,所述固定块的表面上通过轴承转动连接有转杆,所述转杆的两端表面上均开设有螺纹,两个所述螺纹分别螺纹连接在两个螺孔内部,两个所述螺孔分别开设在两个弧板的表面上,两个所述弧板的下端与底座接触,所述转杆的一端固定连接有转钮,所述固定块的上端固定连接有支撑板,两个所述弧板的内部卡接有生长管;
所述等径机构包括圆杆,所述圆杆固定连接在支撑板的中心处,所述圆杆的上端插接在圆孔内部,所述圆孔开设在检测环的内部,所述检测环的外圆侧壁上开设有多个插槽,多个所述插槽的内部均固定连接有动态压力感应器,多个所述动态压力感应器的另一端均固定连接有插块。
优选的,所述所述固定块固定连接在支撑板的下表面中心处。
优选的,两个所述弧板对称设置在固定块的两端。
优选的,所述支撑板与两个弧板交错的两端与生长管的下表面接触。
优选的,所述插块靠近生长管的一端下表面上开设有弧面。
优选的,所述所述插块靠近生长管的一端与生长管的内壁相匹配。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:将检测环套接在圆杆的表面上,然后缓缓放开检测环使其自动下落,当检测环下落时插块与生长管的内壁接触,当生长管内壁的内径发生变化时,进而会导致生长管内壁对插块的压力发生变化,最终压力反馈到动态压力感应器,进而通过动态压力感应器的读数可得出生长管内径是否等径,通过对生长管的内径进行检测,防止生长管内径存在变化导致对锗晶体的生长造成影响。
附图说明
图1为本发明结构示意图;
图2为本发明的检测环结构示意图;
图3为本发明图1中A部分放大图;
图4为本发明图1中B部分放大图。
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