[发明专利]晶圆循环时间的确定方法和装置

权利要求书

1.一种晶圆循环时间的确定方法，其特征在于，包括：

获取多个站点的机台的实际生产数据，每个机台的实际生产数据包括晶圆的处理时间、机台的宕机概率以及宕机修复时间，其中，每个机台具有多个不同宕机修复时间，不同宕机修复时间对应的宕机概率不同，每个机台的多个宕机概率的总和为1；

根据所述多个站点的机台的实际生产数据，建立随机数表，所述随机数表中包括各机台的样本数据，所述样本数据包括晶圆的处理时间、机台宕机概率、宕机修复时间和随机数区间，同一机台的样本数据按照宕机修复时间从小达到排列，其中，所述随机数表中的随机数区间基于相同的随机数生成方式得到，样本数据的机台宕机概率越大，所述样本数据的随机数区间包括的随机数越多，不同样本数据的随机数区间不重叠，且相邻样本数据的随机数区间的随机数相连；

使用Monte Carlo算法和所述随机数表，模拟晶圆在所述多个站点形成的各种机台组合下的生产过程得到模拟器，所述模拟器的输出为晶圆经过机台组合的循环时间，模拟过程中晶圆经过每个机台时生成的随机数属于所述随机数表中的随机数区间，所述随机数用于选择机台的状态；

将机台组合、晶圆数量以及模拟次数输入所述模拟器，得到晶圆的循环时间。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述使用Monte Carlo算法和所述随机数表，模拟晶圆在所述多个站点形成的各种机台组合下的生产过程得到模拟器，包括：

针对每个机台组合，当晶圆经过所述机台组合的每个机台时，根据所述随机数生成方式生成一个随机数；

根据所述随机数表，确定所述随机数所属的样本数据；

根据所述随机数所属的样本数据确定所述机台对应的晶圆的处理时间和宕机修复时间；

将晶圆在所述机台的等待时间、所述机台对应的晶圆的处理时间和宕机修复时间相加得到晶圆在所述机台的总停留时间；

将晶圆在所述机台组合下经过的各个机台的总停留时间相加得到晶圆的循环时间。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，针对所述每个机台组合，分别模拟一片晶圆以及多片晶圆连续生产的生成过程。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，当模拟多片晶圆连续生产时，多片晶圆在经过的每个站点服从先到先处理的原则。

5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述随机数区间的取值为[0,1]，任意样本数据的随机数区间的最小值为同一机台的所有在前样本数据的机台宕机概率之和，最大值为最小值与样本数据的机台宕机概率之和。

6.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述随机数表中还包括宕机累计概率，所述机台的宕机累计概率等于同一机台当前样本数据以及所有在前样本数据的宕机概率之和；

所述随机数区间的取值为[0,1]，任意样本数据的随机数区间的最小值为前一样本数据的宕机累计概率，最大值为所述样本数据的宕机累计概率。

7.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述晶圆数量等于模拟次数N，其中，第i次模拟的晶圆数量等于i，i的取值为1-N。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述将机台组合、晶圆数量以及模拟次数输入所述模拟器，得到晶圆的循环时间，包括：

当模拟次数为N时，第i次模拟i片晶圆，将所述机台组合和所述i片晶圆输入所述模拟器，得到第i次模拟的晶圆的平均循环时间；

根据N次模拟得到的晶圆的平均循环时间，得到循环时间的趋势图，所述循环时间的趋势图的横轴为晶圆数量，纵轴为平均循环时间。