[发明专利]可自补偿的微镜面驱动器件及其工作电压的补偿方法

权利要求书

1.一种微镜面驱动器件的工作电压的补偿方法，其特征在于，包括：检测微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度，根据微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度对器件的工作电压进行补偿；

其中，微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度的检测方法包括：利用设置在所述微镜面的相对两侧的至少两个压敏电阻检测微镜面的偏转方向和偏转角度，所述压敏电阻用于在所述微镜面发生不同偏转角度时变化不同的阻值，以及其中的至少两个压敏电阻顺应所述微镜面的偏转方向排布。

2.如权利要求1所述的微镜面驱动器件的工作电压的补偿方法，其特征在于，所述微镜面的相对两侧各设置有至少两个压敏电阻，位于同一侧的至少两个压敏电阻均顺应所述微镜面的偏转方向排布。

3.如权利要求1所述的微镜面驱动器件的工作电压的补偿方法，其特征在于，所述至少两个压敏电阻组合构成至少一个惠斯通电桥。

4.如权利要求3所述的微镜面驱动器件的工作电压的补偿方法，其特征在于，所述微镜面的相对两侧各设置有两个压敏电阻，位于同一侧的两个压敏电阻均顺应所述微镜面的偏转方向排布，并且微镜面两侧的四个压敏电阻组合构成惠斯通电桥。

5.如权利要求1所述的微镜面驱动器件的工作电压的补偿方法，其特征在于，所述微镜面的相对两侧均设置有扭转梁，所述压敏电阻设置在所述扭转梁上。

6.如权利要求1所述的微镜面驱动器件的工作电压的补偿方法，其特征在于，所述微镜面形成在一衬底上，所述微镜面的相对两侧的衬底中形成有P型掺杂区，所述P型掺杂区内形成有N型掺杂区，所述N型掺杂区构成所述压敏电阻。

7.如权利要求6所述的微镜面驱动器件的工作电压的补偿方法，其特征在于，所述N型掺杂区的长轴方向顺应所述微镜面的偏转方向延伸。

8.如权利要求6所述的微镜面驱动器件的工作电压的补偿方法，其特征在于，所述衬底包括上层结构层，所述微镜面形成在所述上层结构层上并位于上层结构层的微镜面扭转区内，所述上层结构层的微镜面扭转区的下方悬空。

9.一种可自补偿的微镜面驱动器件，其特征在于，包括：

检测结构，用于检测微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度，所述检测结构包括设置在所述微镜面的相对两侧的至少两个压敏电阻，所述压敏电阻用于在所述微镜面发生不同偏转角度时变化不同的阻值，以及其中的至少两个压敏电阻顺应所述微镜面的偏转方向排布；

补偿电路，用于根据检测到的微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度得到补偿电压，所述补偿电压用于补偿微镜面驱动器件的工作电压。

10.如权利要求9所述的可自补偿的微镜面驱动器件，其特征在于，所述微镜面的相对两侧各设置有至少两个压敏电阻，位于同一侧的至少两个压敏电阻均顺应所述微镜面的偏转方向排布。

11.如权利要求9所述的可自补偿的微镜面驱动器件，其特征在于，所述至少两个压敏电阻组合构成至少一个惠斯通电桥。

12.如权利要求11所述的可自补偿的微镜面驱动器件，其特征在于，所述微镜面的相对两侧各设置有两个压敏电阻，位于同一侧的两个压敏电阻均顺应所述微镜面的偏转方向排布，并且微镜面两侧的四个压敏电阻组合构成惠斯通电桥。

13.如权利要求9所述的可自补偿的微镜面驱动器件，其特征在于，所述微镜面形成在一衬底上，所述微镜面的相对两侧的衬底中形成有P型掺杂区，所述P型掺杂区内形成有N型掺杂区，所述N型掺杂区构成所述压敏电阻。

14.一种如权利要求9-13任一项所述的可自补偿的微镜面驱动器件的驱动方法，包括：

利用检测结构检测微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度，所述检测结构检测偏转方向和偏转角度的方法包括：利用设置在所述微镜面的相对两侧的至少两个压敏电阻检测微镜面的偏转方向和偏转角度，所述压敏电阻用于在所述微镜面发生不同偏转角度时变化不同的阻值，以及其中的至少两个压敏电阻顺应所述微镜面的偏转方向排布；

补偿电路根据检测到的微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度得到补偿电压；以及，

基于所述补偿电压补偿器件的工作电压，并将补偿后的工作电压施加至所述微镜面驱动器件。