[发明专利]可自补偿的微镜面驱动器件及其工作电压的补偿方法

说明书

本发明提供了一种可自补偿的微镜面驱动器件及其工作电压的补偿方法。通过获取微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度，并在器件的工作过程中根据微镜面在无工作电压下的偏转状态对其工作电压进行补偿，以校正微镜面在无工作电压下由于其微量扭转产生的误差。即，本发明中的微镜面驱动器件可实现自补偿功能，提高对微镜面的扭转角度的精确控制，有效提升器件性能。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种可自补偿的微镜面驱动器件及其工作电压的补偿方法。

背景技术

微镜面驱动器件(例如，MEMS微镜面驱动器件)可被广泛地应用于光纤通信中，通过使微镜面驱动器件中的微镜面移动，以实现对光信号的动态控制。其中，微镜面驱动器件可被应用于光开关、光衰减器、以及波长选择开关等光电器件中，同时，微镜面驱动器件在光学扫描、光学显示、激光偏转等领域内也具有较大的应用前景。

现有的一种微镜面驱动器件是基于微镜面的扭转对光信号进行控制，因此微镜面的扭转精度将直接影响光信号的控制精度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可自补偿的微镜面驱动器件及其工作电压的补偿方法，以提高微镜面驱动器件在其工作过程中微镜面的扭转精度。

为此，本发明提供一种微镜面驱动器件的工作电压的补偿方法，包括：检测微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度，根据微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度对器件的工作电压进行补偿。其中，微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度的检测方法包括：利用设置在所述微镜面的相对两侧的至少两个压敏电阻检测微镜面的偏转方向和偏转角度，所述压敏电阻用于在所述微镜面发生不同偏转角度时变化不同的阻值，以及其中的至少两个压敏电阻顺应所述微镜面的偏转方向排布。

可选的，所述微镜面的相对两侧各设置有至少两个压敏电阻，位于同一侧的至少两个压敏电阻均顺应所述微镜面的偏转方向排布。

可选的，所述至少两个压敏电阻组合构成至少一个惠斯通电桥。

可选的，所述微镜面的相对两侧各设置有两个压敏电阻，位于同一侧的两个压敏电阻均顺应所述微镜面的偏转方向排布，并且微镜面两侧的四个压敏电阻组合构成惠斯通电桥。

可选的，所述微镜面的相对两侧均设置有扭转梁，所述压敏电阻设置在所述扭转梁上。

可选的，所述微镜面形成在一衬底上，所述微镜面的相对两侧的衬底中形成有P型掺杂区，所述P型掺杂区内形成有N型掺杂区，所述N型掺杂区构成所述压敏电阻。

可选的，所述N型掺杂区的长轴方向顺应所述微镜面的偏转方向延伸。

可选的，所述衬底包括上层结构层，所述微镜面形成在所述上层结构层上并位于上层结构层的微镜面扭转区内，所述上层结构层的微镜面扭转区的下方悬空。

本发明的又一目的在于提供一种可自补偿的微镜面驱动器件，包括检测结构和补偿电路。所述检测结构用于检测微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度，所述检测结构包括设置在所述微镜面的相对两侧的至少两个压敏电阻，所述压敏电阻用于在所述微镜面发生不同偏转角度时变化不同的阻值，以及其中的至少两个压敏电阻顺应所述微镜面的偏转方向排布。所述补偿电路用于根据检测到的微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度得到补偿电压，所述补偿电压用于补偿微镜面驱动器件的工作电压。

可选的，所述微镜面的相对两侧各设置有至少两个压敏电阻，位于同一侧的至少两个压敏电阻均顺应所述微镜面的偏转方向排布。

可选的，所述至少两个压敏电阻组合构成至少一个惠斯通电桥。

可选的，所述微镜面的相对两侧各设置有两个压敏电阻，位于同一侧的两个压敏电阻均顺应所述微镜面的偏转方向排布，并且微镜面两侧的四个压敏电阻组合构成惠斯通电桥。