[发明专利]一种具有双泵结构的真空蒸镀机

权利要求书

1.一种具有双泵结构的真空蒸镀机，所述真空蒸镀机的主腔体(1)与主阀(2)连接，主腔体(1)的后壁的中下部具有一个排气通口(11)，主阀(2)的内部设置有抽真空泵(3)，抽真空泵(3)启动主腔体(1)内的空气通过排气通口(11)进入主阀(2)，主腔体(1)的底板上设置有坩埚部(4)，主腔体(1)内部的上部设置有一个或多个伞面状的镀锅(5)，坩埚部(4)内的蒸镀材料在镀膜时以散射角a并呈圆锥体形状向上蒸发，将镀锅(5)上固定的被镀膜工件镀膜，其特征在于，所述抽真空泵(3)有两个，以坩埚部(4)内的蒸镀材料上表面的中心点为圆心、角度为散射角a形成圆弧，并且将与镀锅(5)的上表面的中心点重合的圆弧记为圆弧M，坩埚部(4)内的蒸镀材料上表面的中心点与镀锅(5)的上表面的中心点之间的连线为ES，其距离为ES距离，以镀锅(5)的上表面的中心点作垂直线L，该垂直线L与ES之间的夹角为入射角b,入射角b大于等于0°并且小于等于35°。

2.如权利要求1所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，所述入射角b大于等于0°并且小于等于25°。

3.如权利要求2所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，所述入射角b大于等于0°并且小于等于10°。

4.如权利要求1所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，两个ES连线之间的夹角为夹角c，夹角c为可综合保证蒸镀材料均匀性的最大蒸发散射角度，夹角c为55°-90°。

5.如权利要求1所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，所述主腔体(1)和主阀(2)均为中空结构，主阀(2)设置在主腔体(1)的后方并且与排气通口(11)的位置相对应，抽真空泵(3)用于将主腔体(1)和主阀(2)的内部抽真空，主腔体(1)与主阀(2)为一体式的。

6.如权利要求1所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，所述主腔体(1)为中空矩形体、中空球体或中空圆柱体中的一种，相应的，排气通口(11)为矩形或者弧形通孔，主阀(2)与主腔体(1)的连接面为中空的矩形或者弧形。

7.如权利要求6所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，所述主腔体(1)的外壁设置有冷却水管(12)，冷却水管(12)均匀分布在整个主腔体(1)的外壁上。

8.如权利要求1所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，所述主阀(2)包括与主腔体(1)固定的连接部(21)和设置两个抽真空泵(3)的主阀部(22)，连接部(21)与主阀部(22)均为中空的结构并且连接部(21)与主阀部(22)相通，所述连接部(21)的横截面为梯形，连接部(21)的与主腔体(1)固定的左侧面的高度大于与主阀部(22)固定的右侧面的高度。

9.如权利要求8所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，所述连接部(21)的左侧面的形状与排气通口(11)的形状相同，连接部(21)的右侧面为中空的正方形或者长方形；所述连接部(21)的横截面为等腰梯形、直角梯形或者普通梯形中的一种。

10.如权利要求1所述的具有双泵结构的真空蒸镀机，其特征在于，所述坩埚部(4)具有一个或者多个坩埚，坩埚为碗状凹陷的形状，坩埚用于盛放蒸镀材料，加热源将坩埚内的蒸镀材料从固态升华为气态，使得镀膜时蒸镀材料以散射角a并呈圆锥体形状向上蒸发；所述镀锅(5)有一个或者多个，设置在主腔体(1)的顶部，镀锅(5)有一个则进行公转，镀锅(5)有多个则进行行星转。