[发明专利]一种具有双泵结构的真空蒸镀机

说明书

本申请提供一种具有双泵结构的真空蒸镀机，所述真空蒸镀机的主腔体与主阀连接，抽真空泵启动主腔体内的空气通过排气通口进入主阀，坩埚部内的蒸镀材料在镀膜时以散射角a并呈圆锥体形状向上蒸发，将镀锅上固定的被镀膜工件镀膜，所述抽真空泵有两个，以坩埚部内的蒸镀材料上表面的中心点为圆心、角度为散射角a形成圆弧，并且将与镀锅的上表面的中心点重合的圆弧记为圆弧M，坩埚部内的蒸镀材料上表面的中心点与镀锅的上表面的中心点之间的连线为ES，其距离为ES距离，以镀锅的上表面的中心点作垂直线L，该垂直线L与ES之间的夹角为入射角b,入射角b大于等于0°并且小于等于35°。

技术领域

本发明涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种具有双泵结构的真空蒸镀机。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。

在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。在镀膜的过程中，需要先对真空蒸镀机的主腔室内抽真空，主腔室与主阀连接，主阀内设置有抽真空泵，抽真空泵用于将主腔室和主阀内的空气抽真空，先进行初抽再进行精抽，由于镀膜时对真空度的要求高，因此在现有的抽真空泵条件下，主腔体不能太大，在有限的体积内为了容纳多个镀锅，势必会牺牲掉镀膜的均匀性，入射角较大。

有鉴于此，本发明提供一种具有双泵结构的真空蒸镀机，提升镀膜均匀性，并且ES距离变大，产能提升。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种具有双泵结构的真空蒸镀机，提升镀膜均匀性，并且ES距离变大，产能提升。

本申请的具有双泵结构的真空蒸镀机，主阀内具有两个抽真空泵，使得主腔体的体积能够变得更大，主腔体的体积变大，使得ES距离变大，入射角b能够变小，入射角b能够为0°-35°，甚至能够接近0°，使得镀锅上固定的被镀膜工件在镀膜时均匀性显著提高。同时，ES距离变大后，可以对应更多lift off工艺，此工艺要求入射角更垂直(更小)，完成了全范围的金属工艺对应。此外，抽速提高，产能上升至少1.5倍；排气通口能够更大，排气量更快，并且维修时也更加方便；两个抽真空泵可以交替工作，进行交替维护保养，之前都是不可以实现的，必须停机至少2天。本申请人在此基础上完成了本申请。

一种具有双泵结构的真空蒸镀机，所述真空蒸镀机的主腔体1与主阀2连接，主腔体1的后壁的中下部具有一个排气通口11，主阀2的内部设置有抽真空泵3，抽真空泵3启动主腔体1内的空气通过排气通口11进入主阀2，主腔体1的底板上设置有坩埚部4，主腔体1内部的上部设置有一个或多个伞面状的镀锅5，坩埚部4内的蒸镀材料在镀膜时以散射角a并呈圆锥体形状向上蒸发，将镀锅5上固定的被镀膜工件镀膜，其特征在于，所述抽真空泵3有两个，以坩埚部4内的蒸镀材料上表面的中心点为圆心、角度为散射角a形成圆弧，并且将与镀锅5的上表面的中心点重合的圆弧记为圆弧M，坩埚部4内的蒸镀材料上表面的中心点与镀锅5的上表面的中心点之间的连线为ES，其距离为ES距离，以镀锅5的上表面的中心点作垂直线L，该垂直线L与ES之间的夹角为入射角b,入射角b大于等于0°并且小于等于35°。

在一些实施方式中，所述入射角b大于等于0°并且小于等于25°，优选的，所述入射角b大于等于0°并且小于等于10°。

进一步的，对于一种蒸镀材料，该散射角a为固定值，散射角a以外的区域的蒸镀材料很少。

进一步的，两个ES连线之间的夹角为夹角c，夹角c为可综合保证蒸镀材料均匀性的最大蒸发散射角度，夹角c为55°-90°。