[发明专利]一种原子层沉积设备的远程控制系统及方法

权利要求书

1.一种原子层沉积设备的远程控制系统，其特征在于，包括：原子层沉积设备、远程控制器和服务器；

所述原子层沉积设备包括无线通信模块、处理器模块和设备主体，所述处理器模块与所述无线通信模块连接；所述设备主体包括温控模块、气体流量控制模块和原子层沉积腔室，所述设备主体与所述处理器模块连接；

所述远程控制器用于通过所述服务器向所述原子层沉积设备下发控制指令，所述无线通信模块用于接收所述控制指令，所述处理器模块用于根据所述控制指令通过所述温控模块控制所述原子层沉积腔室的温度、通过所述气体流量控制模块控制反应气体和载气通入所述原子层沉积腔室以及控制所述反应气体和所述载气的通入量。

2.根据权利要求1所述的原子层沉积设备的远程控制系统，其特征在于，所述原子层沉积设备还用于通过所述无线通信模块和所述服务器向所述远程控制器发送所述处理器模块采集到的设备数据，所述设备数据包括所述原子层沉积设备开启过程中和运行中的相关数据。

3.根据权利要求1所述的原子层沉积设备的远程控制系统，其特征在于，所述原子层沉积设备还包括电源和继电器，所述电源与所述继电器连接；

所述处理器模块包括电源开关控制单元，所述电源开关控制单元用于控制所述继电器的通断，所述继电器的通断用于控制所述原子层沉积设备的开启和关闭。

4.根据权利要求3所述的原子层沉积设备的远程控制系统，其特征在于，所述温控模块包括加热单元和测温单元；

所述加热单元用于控制所述原子层沉积腔室升温，所述测温单元分别与所述处理器模块、所述加热单元和所述原子层沉积腔室连接。

5.根据权利要求1所述的原子层沉积设备的远程控制系统，其特征在于，所述气体流量控制模块包括气动电磁阀、隔膜阀和流量计，所述气动电磁阀与所述处理器模块连接，所述气动电磁阀用于控制所述隔膜阀，所述流量计用于测量所述反应气体和所述载气的通入量。

6.根据权利要求5所述的原子层沉积设备的远程控制系统，其特征在于，所述原子层沉积设备还包括多条气体管路，所述气体管路上设置有所述气体流量控制模块，所述气体管路用于向所述原子层沉积腔室通入对应的所述反应所述气体和所述载气，所述反应气体通过装有有机金属前驱体钢瓶提供，所述载气不参与所述原子层沉积腔室内的化学反应。

7.根据权利要求1所述的原子层沉积设备的远程控制系统，其特征在于，所述原子层沉积设备还包括真空泵，所述真空泵用于抽走所述原子层沉积腔室内的气体，以调节和控制所述原子层沉积腔室内的气体压强；

所述处理器模块还用于根据所述控制指令控制所述真空泵的运行。

8.根据权利要求1所述的原子层沉积设备的远程控制系统，其特征在于，所述远程控制器为移动远程控制器。

9.一种原子层沉积设备的远程控制方法，其特征在于，应用于如权利要求1-8中任一项所述的原子层沉积设备的远程控制系统，方法包括：

远程控制器向服务器发送控制指令；

所述服务器向原子层沉积设备转发所述控制指令；

所述原子层沉积设备的无线通信模块接收所述控制指令，并将接收到的所述控制指令发送至处理器模块；

所述处理器模块根据所述控制指令通过温控模块控制原子层沉积腔室的温度；

若所述原子层沉积腔室的温度达到设定温度，且所述原子层沉积腔室内的气体压强达到预设值，则所述处理器模块根据所述控制指令通过所述气体流量控制模块控制反应气体和载气通入所述原子层沉积腔室以及控制所述反应气体和所述载气的通入量。

10.根据权利要求9所述的原子层沉积设备的远程控制方法，其特征在于，还包括：

所述原子层沉积设备通过所述无线通信模块向所述服务器发送所述处理器模块采集到的设备数据，其中，所述设备数据包括所述原子层沉积设备开启过程中和运行中的相关数据；

所述服务器向所述远程控制器转发所述设备数据。