[发明专利]基座及基质加工设备

权利要求书

1.一种基座，包括：

板状部件；

第一加热器，其用于加热所述板状部件的第一部；

第二加热器，其用于加热所述板状部件的第二部；以及

绝热部，其用于使所述第一部和所述第二部在所述板状部件的上表面侧彼此绝热；其中，

所述绝热部包括用于使所述第一部和所述第二部彼此绝热的冷却装置。

2.根据权利要求1所述的基座，其中，

所述绝热部包括设置在所述板状部件的上表面侧中的沟槽部；

所述冷却装置嵌入在所述板状部件的所述沟槽部的沟槽正下方。

3.根据权利要求1所述的基座，其中，

所述绝热部包括设置在所述板状部件的上表面侧中的沟槽部；

所述冷却装置在板状部件的位于槽状部的凹槽正下方的部分的相对侧的位置处嵌入板状部件中。

4.根据权利要求2或3所述的基座，其中，

所述冷却装置具有冷却介质流动所通过的冷却介质通道；

所述冷却介质通道包括穿过所述第一部的第一冷却介质通道以及连接至所述第一冷却介质通道并且穿过所述沟槽正下方的所述板状部件的一部分的第二冷却介质通道；

用于阻碍所述冷却介质与所述板状部件之间的热传递的热传递抑制部件设置在所述第一冷却介质通道中；并且

所述冷却介质与所述板状部件在所述第二冷却介质通道中彼此接触。

5.根据权利要求4所述的基座，其中，

如在平面中观察到的，所述沟槽部设置为环形；

至少设置两组所述第一冷却介质通道与所述第二冷却介质通道；并且

所述冷却介质从所述第一冷却介质通道进入所述第二冷却介质通道所处的位置沿着所述沟槽部大致以等间隔设置。

6.根据权利要求1所述的基座，其中，

所述绝热部包括设置在所述板状部件的上表面侧中的沟槽部；

所述绝热部还包括附接到板状部件的冷却构件。

7.根据权利要求6所述的基座，其中，

所述冷却构件附接至所述沟槽部正下方的所述板状部件。

8.根据权利要求1所述的基座，其中，

所述冷却装置嵌入在第一加热器和第二加热器之间的板状部件中，以及

所述板状部件的上表面侧为平面。

9.根据权利要求8所述的基座，其中，

所述第一加热器、第二加热器和冷却装置从所述板状部件的上表面侧以相同的深度嵌入。

10.根据权利要求8所述的基座，其中，

如在平面中观察到的，所述第二部包围所述第一部。