[发明专利]高浓度刻蚀酸处理方法及装置

权利要求书

1.高浓度刻蚀酸处理方法，其特征在于，包括：

S001、在废液中加入第一碱性溶液，所述第一碱性溶液与所述废液发生酸碱中和反应，获得弱碱性的固液混合物；

S002、过滤所述固液混合物，分离得到固体物质和液体物质；

S003、使用所述液体物质配置第二碱性溶液；

S004、使用所述第二碱性溶液与待处理的废液发生酸碱中和反应，获得所述固液混合物和盐类结晶。

2.如权利要求1所述的高浓度刻蚀酸处理方法，其特征在于，所述S004步骤之后还包括：

S005、将所述S002步骤中固液分离后的固体进行挤压成型，得到块状固体。

3.如权利要求1所述的高浓度刻蚀酸处理方法，其特征在于，所述废液为含有磷酸、硝酸和乙酸的混合液，所述S001步骤中的所述第一碱性溶液为氢氧化钠和氢氧化钙的混合液。

4.高浓度刻蚀酸处理装置，其特征在于，包括依次串联的碱液储罐、废液储罐和固液分离装置；所述固液分离装置的出液口还与所述碱液储罐的进口连通。

5.如权利要求4所述的高浓度刻蚀酸处理装置，其特征在于，所述废液储罐内设有喷淋组件，所述碱液储罐的出口与所述喷淋组件连通，所述喷淋组件包括：

输送管，进口端连通于所述废液储罐的出口；

传输件，内部具有输送液体的通道，所述传输件连接于所述输送管的出口端；以及

多个喷淋管，位于所述废液储罐顶部，多个所述喷淋管分别与所述传输件连接，所述喷淋管开设有多个喷流孔。

6.如权利要求5所述的高浓度刻蚀酸处理装置，其特征在于，多个所述喷淋管分别绕所述废液储罐的中轴呈放射状设置，且多个所述喷淋管围合形成中心能够容纳所述传输件的容纳空间，所述传输件设于所述容纳空间内，且所述传输件的外周面分别与多个所述喷淋管连通。

7.如权利要求5所述的高浓度刻蚀酸处理装置，其特征在于，所述喷淋管为环形布置的管状，多个所述喷淋管沿所述废液储罐的径向依次分布。

8.如权利要求7所述的高浓度刻蚀酸处理装置，其特征在于，所述传输件沿所述废液储罐的径向设置，所述传输件与多个所述喷淋管连接。

9.如权利要求7所述的高浓度刻蚀酸处理装置，其特征在于，所述喷淋组件还包括连接所述喷淋管和所述传输件的连接管。

10.如权利要求5所述的高浓度刻蚀酸处理装置，其特征在于，所述喷流孔上设有喷嘴。