[发明专利]高浓度刻蚀酸处理方法及装置

说明书

本发明提供了一种高浓度刻蚀酸处理方法，包括S001、在废液中加入第一碱性溶液，所述第一碱性溶液与所述废液发生酸碱中和反应，获得弱碱性的固液混合物；S002、过滤所述固液混合物，分离得到固体物质和液体物质；S003、使用所述液体物质配置第二碱性溶液；S004、使用所述第二碱性溶液与待处理的废液发生酸碱中和反应，获得所述固液混合物和盐类结晶。本发明提供的高浓度刻蚀酸处理方法，旨在实现降低结晶过程中的能源消耗，降低成本。

技术领域

本发明属于危险废物技术领域，更具体地说，是涉及一种高浓度刻蚀酸处理方法及装置。

背景技术

高浓度的刻蚀酸通常用于对芯片、电极等电子元件进行表面氧化膜清洗。刻蚀酸的主要成分为磷酸、醋酸、乙酸以及金属阳离子，因刻蚀酸中含有大量的磷离子和酸根离子，因此在对刻蚀酸的废液进行处理时，通常在废液中加入碱性溶液进行酸碱中和反应，然后再对废液进行蒸发结晶，析出盐类结晶，最终得到无污染的废液。但在蒸发结晶时需要耗费大量的热能，造成成本增加，能源浪费。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高浓度刻蚀酸处理方法及装置，旨在实现降低结晶过程中的能源消耗，降低成本。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种高浓度刻蚀酸处理方法，包括：

S001、在废液中加入第一碱性溶液，第一碱性溶液与废液发生酸碱中和反应，获得弱碱性的固液混合物；

S002、过滤固液混合物，分离得到固体物质和液体物质；

S003、使用液体物质配置第二碱性溶液；

S004、使用第二碱性溶液与待处理的废液发生酸碱中和反应。

在一种可能的实现方式中，S004步骤之后还包括：

S005、将所述S002步骤中固液分离后的固体进行挤压成型，得到块状固体。

在一种可能的实现方式中，所述废液为含有磷酸、硝酸和乙酸的混合液，所述S001步骤中的所述第一碱性溶液为氢氧化钠和氢氧化钙的混合液。

本发明提供的高浓度刻蚀酸处理方法的有益效果在于：与现有技术相比，本发明高浓度刻蚀酸处理方法将第一碱性溶液与废液发生酸碱中和反应，反应时产生的热量使反应液中的盐部分结晶析出，得到固液混合物，将固液混合物进行分离，分离后的液体含有盐类，并呈弱碱性，可以用于配置第二碱性溶液，然后再次将第二碱性溶液与废液反应，酸碱中和反应中产生的大量热能使第二碱性溶液中的盐类大量结晶析出。采用本方法无需对固液混合物分离后液体进行加热，直接采用酸碱中和反应产生的热量使溶液中的盐结晶析出，减少了能耗，降低了成本。

本发明还提供了一种高浓度刻蚀酸处理装置，包括依次串联的碱液储罐、废液储罐和固液分离装置；所述固液分离装置的出液口还与所述碱液储罐的进口连通。

在一种可能的实现方式中，所述废液储罐内设有喷淋组件，所述碱液储罐的出口与所述喷淋组件连通，所述喷淋组件包括：

输送管，进口端连通于所述废液储罐的出口；

传输件，内部具有输送液体的通道，所述传输件连接于所述输送管的出口端；以及

多个喷淋管，位于所述废液储罐顶部，多个所述喷淋管分别与所述传输件连接，所述喷淋管开设有多个喷流孔。

在一种可能的实现方式中，多个所述喷淋管分别绕所述废液储罐的中轴呈放射状设置，且多个所述喷淋管围合形成中心能够容纳所述传输件的容纳空间，所述传输件设于所述容纳空间内，且所述传输件的外周面分别与多个所述喷淋管连通。

在一种可能的实现方式中，所述喷淋管为环形布置的管状，所述喷淋管为环状结构，多个所述喷淋管沿所述废液储罐的径向依次分布。