[发明专利]一种解决半导体封装行业IC芯片划伤的加工设备及加工方法在审
申请号: | 202110824051.6 | 申请日: | 2021-07-21 |
公开(公告)号: | CN113571456A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 王书为;冯后清;马勉之;师泽伟;郑勇 | 申请(专利权)人: | 华天科技(西安)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人: | 宋鹤 |
地址: | 710018 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 解决 半导体 封装 行业 ic 芯片 划伤 加工 设备 方法 | ||
1.一种解决半导体封装行业IC芯片划伤的加工设备,包括有工作台(5),其特征在于:所述工作台(5)上安装有中转机构(2),所述中转机构(2)内部设置有料盒组件(1),所述中转机构(2)底部设有安装板(201),安装板(201)的上表面两侧安装有侧板(202),两块侧板(202)底端之间安装有输送皮带(203),两块侧板(202)上各开设有一个推料口(204),两个推料口(204)的旁边分别设置有推出机构(3)和传送机构(4)。
2.根据权利要求1所述的一种解决半导体封装行业IC芯片划伤的加工设备,其特征在于:所述料盒组件(1)包括有盒底板(101),盒底板(101)上表面两侧连接有夹板(102),盒底板(101)上表面两侧的端部开设有滑动槽(103),夹板(102)下表面的两端安装有滑动块(104),滑动块(104)卡接在滑动槽(103)内部。
3.根据权利要求2所述的一种解决半导体封装行业IC芯片划伤的加工设备,其特征在于:所述夹板(102)的侧壁上开设有放料槽(1014),放料槽(1014)的数量不少于四条。
4.根据权利要求2所述的一种解决半导体封装行业IC芯片划伤的加工设备,其特征在于:所述夹板(102)的底端两侧开设有通孔,通孔内部安装有安装筒(105),安装筒(105)连接有轴承(106),轴承(106)连接有螺纹筒(107),内杆(108)穿过安装筒(105)、轴承(106)和螺纹筒(107),内杆(108)的中间固定安装有固定筒(109),固定筒(109)安装在盒底板(101)的上表面,内杆(108)的端部开设有螺纹且与螺纹筒(107)配合连接,内杆(108)的端部焊接有对接片(1015)。
5.根据权利要求2所述的一种解决半导体封装行业IC芯片划伤的加工设备,其特征在于:所述夹板(102)的上表面一端安装有顶柱(1010),顶柱(1010)外壁转动连接有转环(1011),转环(1011)的侧壁上安装有档杆(1012),盒底板(101)的侧壁上开设有底槽(1013),底槽(1013)内部安装有磁铁片。
6.根据权利要求1所述的一种解决半导体封装行业IC芯片划伤的加工设备,其特征在于:所述侧板(202)的内侧壁上开设有限位滑槽(205),限位滑槽(205)连接有两条升降槽(206),升降槽(206)位于推料口(204)的两侧,升降槽(206)的内部连接有内腔(207),内腔(207)的内部设置有活动板(208),活动板(208)的一侧壁上焊接固定有托板(209),活动板(208)的另一侧壁上设有齿条,在推出机构(3)和传送机构(4)的两侧安装有驱动组件。
7.根据权利要求6所述的一种解决半导体封装行业IC芯片划伤的加工设备,其特征在于:所述驱动组件包括有安装在侧板(202)外侧壁上的安装壳(2010),安装壳(2010)内部安装有控制电机(2011),控制电机(2011)的输出端连接有齿轮(2012),齿轮(2012)和活动板(208)上的齿条啮合链接。
8.一种如权利要求1-7任意一项所述的一种解决半导体封装行业IC芯片划伤的加工方法,其特征在于:该工艺包括以下步骤:
S1:料片保存在料盒组件(1)内部,通过使料片框架外框两端边沿的部位位于两侧的放料槽(1014)内作为传送接触点,使得每一个框架上的芯片都避免了与设备或夹具硬性摩擦,通过转动螺纹筒(107),螺纹筒(107)和内杆(108)端部的螺纹配合连接,使得螺纹筒(107)推动夹板(102)在内杆(108)上横向移动,进而改变两侧夹板(102)之间的距离,以适配不同尺寸的芯片加工,适应性更强;
S2:上料时,需要转动转环(1011),使得档杆(1012)位于夹板(102)的两侧即可;将装载料片的料盒组件(1)放置在中转机构(2)内,并使得对接片(1015)可位于限位滑槽(205)内滑动,输送皮带(203)带动料盒组件(1)运动,当料盒组件(1)运行到推料口(204)处时,最上层的料片和推料口(204)对齐,对接片(1015)位于升降槽(206)内,推出机构(3)启动,可将料片透过推料口(204)推到传送机构(4)上;
S3:当推出机构(3)将最上层的料片推到传送机构(4)上后,控制电机(2011)启动带动齿轮(2012)转动,使得活动板(208)和托板(209)上升,托板(209)将对接片(1015)向上推动一段距离,使得料盒组件(1)整体上升一段距离,进而使得第二层的料片和推料口(204)对齐,推出机构(3)可将第二层的料片推动到传送机构(4)上,即可依次将料盒组件(1)内的料片卸下,结构简单,自动化程度高;
S4:卸料完成后,控制电机(2011)反转将料盒组件(1)下降到输送皮带(203)上,空的料盒组件(1)可通过料盒升降装置运走,在传送机构(4)上的料片被向后端输送,在传送机构(4)的后端被抓手上料装置抓起并送到锡化设备上进行锡化加工。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造