[发明专利]一种线路板生产用雕刻复合膜及其生产工艺

权利要求书

1.一种线路板生产用雕刻复合膜的生产工艺，其特征在于，所述雕刻复合膜包括基层(1)、雕刻层(2)和抗静电层(3)，所述基层(1)和抗静电层(3)之间设置有雕刻层(2)；所述基层(1)包括如下质量份数的原料：PET颗粒85～98份、绝缘油2～15份；所述雕刻层(2)包括如下质量份数的原料：光刻胶96～98份、UV胶2～4份，所述UV胶分布于光刻胶的正反两侧面；所述抗静电层(3)包括如下质量份数的原料：PET颗粒75～85份、抗静电母粒10～20份、石墨烯2～10份，所述抗静电母粒为乙氧基化月桂酰胺、乙氧基化硬脂酞胺和绝缘油混合物；包括以下步骤：

S101：清洁载体，取板状载体清洗烘干，采用湿法清洗、去离子水冲洗和脱水烘焙相结合的方式除去载体污染物及水蒸气；

S102：喷涂基层(1)，取PET颗粒熔化并加入绝缘油混合，获得基底液，将基底液喷涂于载体上；

S103：旋涂雕刻层(2)，于基层(1)表面依次旋涂UV胶和光刻胶；

S104：固化烘干，通过紫外线照射令UV胶固化，而后于雕刻层(2)表面覆上掩膜板，并扫描步进投影曝光；

S105：显影，采用连续喷雾和自动旋转相结合的方式显影，即采用一个或多个喷嘴喷洒显影液于光刻胶表面，同时载体以100～500rpm低速旋转，静置后以100～130℃硬烘1～2分钟，并在显影后于光刻胶表面旋涂UV胶；

S106：旋涂抗静电层(3)，取PET颗粒熔化后与石墨烯混合为屏蔽液，取PET颗粒和抗静电母粒熔化混合为抗静电液，依次于雕刻层(2)表面旋涂抗静电液、屏蔽液和抗静电液。

2.如权利要求1所述的一种线路板生产用雕刻复合膜的生产工艺，其特征在于，所述基层(1)包括如下质量份数的原料：PET颗粒92份、绝缘油8份。

3.如权利要求1所述的一种线路板生产用雕刻复合膜的生产工艺，其特征在于，所述绝缘油为合成绝缘油，其由硅油、十二烷基苯、聚异丁烯、异丙基联苯、二芳基乙烷中任意一种或多种混合形成。

4.如权利要求1所述的一种线路板生产用雕刻复合膜的生产工艺，其特征在于，所述雕刻层(2)包括如下质量份数的原料：光刻胶98份、UV胶2份。

5.如权利要求1所述的一种线路板生产用雕刻复合膜的生产工艺，其特征在于，所述抗静电层(3)包括如下质量份数的原料：PET颗粒85份、抗静电母粒10份、石墨烯5份。

6.如权利要求1所述的一种线路板生产用雕刻复合膜的生产工艺，其特征在于，所述抗静电层(3)包括如下质量份数的原料：PET颗粒80份、抗静电母粒15份、石墨烯5份。

7.如权利要求1所述的一种线路板生产用雕刻复合膜的生产工艺，其特征在于，所述抗静电层(3)包括如下质量份数的原料：PET颗粒75份、抗静电母粒20份、石墨烯5份。