[发明专利]一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置

权利要求书

1.一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置，其特征在于，包括：

两个滑板导轨，两个所述滑板导轨平行设置，且延伸方向为前后延伸；

硅棒承载装置，位于两个所述滑板导轨之间，用于承载硅棒；

两个夹爪系统，两个所述夹爪系统的延伸方向为左右延伸，用于夹取所述硅棒承载装置所承载的所述硅棒；以及

夹爪系统驱动机构，用于驱动两个所述夹爪系统沿所述滑板导轨的延伸方向相向或相离运动；

所述夹爪系统包括：

滑板，其延伸方向为左右延伸，其底部通过滑板滑块与两个所述滑板导轨滑动连接；

夹爪导轨，位于所述滑板上，其延伸方向为左右延伸；

两个夹爪，两个所述夹爪的底部通过夹爪滑块与所述夹爪导轨滑动连接，两个所述夹爪相对的面具有呈V型的夹口；以及

夹爪驱动机构，位于所述滑板上，用于驱动两个所述夹爪沿所述夹爪导轨的延伸方向相向或相离运动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置，其特征在于，所述硅棒承载装置包括：

托盘，所述托盘位于所述滑板的上方，且延伸方向为前后延伸，所述托盘的两端具有竖直向下延伸的竖板，所述托盘的长度大于或等于所述滑板导轨的长度；

晶托，固定在所述托盘的顶部，用于承载所述硅棒；

第一横板，固定在所述竖板上；

第二横板，位于所述第一横板的下方，与固定结构固定连接；

多个滑动导向杆，竖直穿过所述第一横板和所述第二横板；以及

多个第一弹簧，套设在所述滑动导向杆位于所述第一横板和所述第二横板之间的部分；以及

两个限位块，分别固定在所述第一横板的下表面和所述第二横板的上表面，用于限位。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置，其特征在于，所述夹爪系统驱动机构包括：

第一左右旋双螺母丝杠，其两个输出端分别与两个所述滑板的底部固定连接，其输入端为手轮或第一电机。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置，其特征在于，所述第一左右旋双螺母丝杠通过浮动缓冲机构与所述滑板连接；

所述浮动缓冲机构包括：

丝杠固定座，固定在所述滑板的中部，所述第一左右旋双螺母丝杠的丝杆的中部通过所述丝杠固定座与所述滑板连接；

固定座，其位于所述丝杠固定座一旁，与固定结构固定连接；

导向螺栓，其延伸方向为前后延伸，其远离拧动端的一端穿过所述固定座后与所述丝杠固定座固定连接；以及

第二弹簧，套设在所述导向螺栓上，其一端与所述固定座连接，另一端与所述丝杠固定座连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置，其特征在于，所述夹爪驱动机构包括：

第二左右旋双螺母丝杠，其两个输出端分别与两个所述夹爪固定连接，其输入端为第二电机。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置，其特征在于，还包括：夹爪张开位置反馈机构；

所述夹爪张开位置反馈机构包括：

丝杠轴承座，固定在所述滑板的一端，且其靠近所述第二电机，所述第二左右旋双螺母丝杠的丝杆的一端部通过所述丝杠轴承座与所述滑板连接；

夹爪张开位置触发开关，其安装在所述丝杠轴承座上，两个所述夹爪相离运动到最大行程时，靠近所述夹爪张开位置触发开关的夹爪碰触所述夹爪张开位置触发开关开启。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置，其特征在于，呈V字形的所述夹口在其开口的里端具有竖直面。