[发明专利]一种三氯化硼提纯装置

权利要求书

1.一种三氯化硼提纯装置，其特征在于，包括原料汇流排（1）、三氯化硼吸附系统（2）、过滤器（3）、精馏塔（4）、液化器（5）、成品储存机构（6）、回收储存机构（7）、回收充装机构（8）、成品充装机构（9）、去尾气系统（10）、热氮气接入口（11）和不凝汽排放机构（12），所述原料汇流排（1）的输出端和三氯化硼吸附系统（2）的输入端固定连接，所述热氮气接入口（11）和三氯化硼吸附系统（2）的另一个输入端固定连接；

两个所述三氯化硼吸附系统（2）分为两个输出端，其中一个所述三氯化硼吸附系统（2）的输出端和过滤器（3）的输入端固定连接，另一个所述三氯化硼吸附系统（2）的输出端和去尾气系统（10）的输入端固定连接；

所述过滤器（3）的输出端和精馏塔（4）的输入端固定连接，所述精馏塔（4）顶部的输出端和液化器（5）的输入端固定连接，所述精馏塔（4）底部的输出端和回收储存机构（7）的输入端固定连接；

所述液化器（5）设置有两个输出端，其中一个所述液化器（5）的输出端和不凝汽排放机构（12）及三氯化硼吸附系统（2）的再生气输出端并联在一起，另一个所述液化器（5）的成品输出端和成品储存机构（6）及回收储存机构（7）并联在一起；

所述成品储存机构（6）的输出端和成品充装机构（9）的输入端固定连接，所述回收储存机构（7）的输出端和回收充装机构（8）的输入端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种三氯化硼提纯装置，其特征在于，所述原料汇流排（1）包括有第一电子秤（101），所述第一电子秤（101）的上端设置有第一储气钢瓶（102），所述第一储气钢瓶（102）的输出端设置有电加热带（103）。

3.根据权利要求1所述的一种三氯化硼提纯装置，其特征在于，所述第一储气钢瓶（102）在30℃的环境温度下，其内部气压为0.2MPa。

4.根据权利要求1所述的一种三氯化硼提纯装置，其特征在于，所述电加热带（103）的加热温度为60~80℃。

5.根据权利要求1所述的一种三氯化硼提纯装置，其特征在于，所述过滤器（3）的精度为0.1微米。

6.根据权利要求1所述的一种三氯化硼提纯装置，其特征在于，所述吸附器（203）的内部设置有吸附剂，所述吸附剂至少由活性炭和分子筛中的一种或多种组成。

7.根据权利要求1所述的一种三氯化硼提纯装置，其特征在于，所述三氯化硼吸附系统（2）包括有高温炉（201）、盘管冷却器（202）和两个吸附器（203），所述高温炉（201）、盘管冷却器（202）和两个吸附器（203）依次串联，且所述高温炉（201）和两个吸附器（203）均设有一个依次串联的输出管，所述输出管和去尾气系统（10）固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种三氯化硼提纯装置，其特征在于，所述盘管冷却器（202）的冷源为-10℃冷冻液。

9.根据权利要求1所述的一种三氯化硼提纯装置，其特征在于，所述精馏塔（4）顶部设置有冷凝器，所述精馏塔（4）底部设置有再沸器。

10.根据权利要求9所述的一种三氯化硼提纯装置，其特征在于，所述精馏塔（4）底部再沸器的热源为导热油，所述精馏塔（4）顶部冷凝器的冷源为冷冻液。