[发明专利]一种三氯化硼提纯装置

说明书

本发明公开了一种三氯化硼提纯装置，涉及三氯化硼技术领域。本发明包括原料汇流排、三氯化硼吸附系统、过滤器、精馏塔、液化器、成品储存机构、回收储存机构、回收充装机构、成品充装机构、去尾气系统、热氮气接入口和不凝汽排放机构。本发明通过各个配件的配合，能够较好的对三氯化硼进行提纯，得到高纯度的三氯化硼，且能够自动对不合格的三氯化硼进行回收，降低了生产成本，提纯过程一次成型，保证了提纯工艺的连续性，并避免三氯化硼受到外部杂质的影响，保证了三氯化硼的纯度，且易于操作、效率较高、适合大批量推广。

技术领域

本发明属于三氯化硼技术领域，特别是涉及一种三氯化硼提纯装置。

背景技术

三氯化硼是一种危险化学品，主要用作半导体硅的掺杂源或有机合成催化剂，还可用于高纯硼或有机硼的制取，在对三氯化硼进行制取时，需要使用提纯装置对三氯化硼进行提纯，但现有提纯装置提纯后的三氯化硼纯度较低，且生产成本较高，且操作工序较为复杂、提纯效率较低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种三氯化硼提纯装置，以解决了现有的问题：现有提纯装置提纯后的三氯化硼纯度较低，且生产成本较高，且操作工序较为复杂、提纯效率较低。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明为一种三氯化硼提纯装置，包括原料汇流排、三氯化硼吸附系统、过滤器、精馏塔、液化器、成品储存机构、回收储存机构、回收充装机构、成品充装机构、去尾气系统、热氮气接入口和不凝汽排放机构，所述原料汇流排的输出端和三氯化硼吸附系统的输入端固定连接，所述热氮气接入口和三氯化硼吸附系统的另一个输入端固定连接；

两个所述三氯化硼吸附系统分为两个输出端，其中一个所述三氯化硼吸附系统的输出端和过滤器的输入端固定连接，另一个所述三氯化硼吸附系统的输出端和去尾气系统的输入端固定连接；

所述过滤器的输出端和精馏塔的输入端固定连接，所述精馏塔顶部的输出端和液化器的输入端固定连接，所述精馏塔底部的输出端和回收储存机构的输入端固定连接；

所述液化器设置有两个输出端，其中一个所述液化器的输出端和不凝汽排放机构及三氯化硼吸附系统的再生气输出端并联在一起，另一个所述液化器的成品输出端和成品储存机构及回收储存机构并联在一起；

所述成品储存机构的输出端和成品充装机构的输入端固定连接，所述回收储存机构的输出端和回收充装机构的输入端固定连接。

进一步地，所述原料汇流排包括有第一电子秤，所述第一电子秤的上端设置有第一储气钢瓶，所述第一储气钢瓶的输出端设置有电加热带。

进一步地，所述第一储气钢瓶在30℃的环境温度下，其内部气压为0.2MPa。

进一步地，所述电加热带的加热温度为60~80℃。

进一步地，所述过滤器的精度为0.1微米。

进一步地，所述吸附器的内部设置有吸附剂，所述吸附剂至少由活性炭和分子筛中的一种或多种组成。

进一步地，所述三氯化硼吸附系统包括有高温炉、盘管冷却器和两个吸附器，所述高温炉、盘管冷却器和两个吸附器依次串联，且所述高温炉和两个吸附器均设有一个依次串联的输出管，所述输出管和去尾气系统固定连接。

进一步地，所述盘管冷却器的冷源为-10℃冷冻液。

进一步地，所述精馏塔顶部设置有冷凝器，所述精馏塔底部设置有再沸器。

进一步地，所述精馏塔底部再沸器的热源为导热油，所述精馏塔顶部冷凝器的冷源为冷冻液。

本发明具有以下有益效果：