[发明专利]一种射频声表面波滤波器在审
| 申请号： | 202110828925.5 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113595525A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 陈婷婷;杜雪松;谢晓;谢东峰;彭霄;罗璇升;彭雄;张华;明礼;刘春雪 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H3/08;H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人： | 卢胜斌 |
| 地址： | 400060*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 表面波 滤波器 | ||
1.一种射频声表面波滤波器，包括压电基片以及压电基片上方的结构单元，所述结构单元为梳状设置的金属指条，其特征在于，每根金属指条的四个端角进行加宽处理，形成活塞式加权，加权的尺寸为：x轴方向的长度为金属指条宽度/20～金属指条宽度/2、y轴方向的长度为金属指条宽度/10～金属指条宽度。
2.根据权利要求1所述的一种射频声表面波滤波器，其特征在于，压电基片上方设置有功能层，金属指条上方设置有保护层，且保护层厚度在5nm～30nm之间。
3.根据权利要求2所述的一种射频声表面波滤波器，其特征在于，功能层的材料采用金属钛、钛铜金或是钛铝合金。
4.根据权利要求2所述的一种射频声表面波滤波器，其特征在于，保护层的材料采用二氧化硅或者氮化硅材料，且保护层厚度在20～100nm之间。
5.根据权利要求1所述的一种射频声表面波滤波器，其特征在于，所述结构单元为单端叉指换能器或纵向耦合谐振器。
6.根据权利要求1所述的一种射频声表面波滤波器，其特征在于，压电基片的材料采用钽酸锂或者铌酸锂材料。
7.根据权利要求1所述的一种射频声表面波滤波器，其特征在于，金属指条表面覆盖有二氧化硅或者氮化硅材料。
8.根据权利要求1所述的一种射频声表面波滤波器，其特征在于，其中一根金属指条的末端接电端口，接电端口的数量为4～20个且数量为偶数。
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